[发明专利]有源矩阵基板及包括该基板的X射线摄像面板有效
申请号: | 201910093472.9 | 申请日: | 2019-01-30 |
公开(公告)号: | CN110098209B | 公开(公告)日: | 2023-04-25 |
发明(设计)人: | 中泽淳;富安一秀;中野文树;中村友 | 申请(专利权)人: | 夏普株式会社 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人: | 汪飞亚;习冬梅 |
地址: | 日本国大*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有源 矩阵 包括 射线 摄像 面板 | ||
1.一种有源矩阵基板,具有包含多个像素的像素区域,其特征在于,
所述多个像素分别包括:
光电转换元件,其具有一对电极和设置于该一对电极之间的半导体层;
第一平坦化膜,其覆盖所述光电转换元件,并由有机类树脂膜构成;以及
第一无机绝缘膜,其覆盖所述第一平坦化膜,
所述第一平坦化膜和所述第一无机绝缘膜设置至所述像素区域的外侧,
在所述像素区域的外侧,为了不露出所述第一平坦化膜,所述第一平坦化膜被所述第一无机绝缘膜覆盖,
第二平坦化膜,所述第二平坦化膜与所述第一无机绝缘膜的至少一部分重叠,并由有机类树脂膜构成,
在俯视时,所述第二平坦化膜在所述像素区域的外侧,隔着所述第一无机绝缘膜与所述第一平坦化膜的端部重叠。
2.根据权利要求1所述的有源矩阵基板,其特征在于,还包括:
第二无机绝缘膜,所述第二无机绝缘膜至少在所述像素区域的外侧覆盖所述第二平坦化膜,
在俯视时,所述第二无机绝缘膜在所述像素区域的外侧,隔着所述第一无机绝缘膜、所述第二平坦化膜以及所述第二无机绝缘膜与所述第一平坦化膜的端部重叠。
3.根据权利要求1所述的有源矩阵基板,其特征在于,还包括:
金属膜,所述金属膜在所述像素区域的外侧,设置于所述第一平坦化膜的端部与覆盖该第一平坦化膜的端部的所述第一无机绝缘膜之间。
4.根据权利要求3所述的有源矩阵基板,其特征在于,在所述多个像素中的每一个像素中,还包括:
偏压布线,其与所述一对电极中的一个电极连接,并对该一个电极施加规定电压,
所述偏压布线和所述金属膜包含相同的金属材料。
5.一种有源矩阵基板,具有包含多个像素的像素区域,其特征在于,
所述多个像素分别包括:
光电转换元件,其具有一对电极和设置于该一对电极之间的半导体层;
第一平坦化膜,其覆盖所述光电转换元件,并由有机类树脂膜构成;以及
第一无机绝缘膜,其覆盖所述第一平坦化膜,
所述第一平坦化膜和所述第一无机绝缘膜设置至所述像素区域的外侧,
在所述像素区域的外侧,为了不露出所述第一平坦化膜,所述第一平坦化膜被所述第一无机绝缘膜覆盖,
第二平坦化膜,其与所述第一无机绝缘膜的至少一部分重叠,并由有机类树脂膜构成;以及
第二无机绝缘膜,其至少在所述像素区域的外侧覆盖所述第二平坦化膜,
在所述像素区域的外侧,所述第二平坦化膜的端部设置于比所述第一平坦化膜的端部更靠所述像素区域侧的位置,
在俯视时,所述第二无机绝缘膜在所述像素区域的外侧,隔着所述第一无机绝缘膜与所述第一平坦化膜的端部重叠。
6.一种X射线摄像面板,其特征在于,包括:
权利要求1至5中任一项所述的有源矩阵基板;
闪烁体,其将所照射的X射线转换为闪烁光;以及
防潮材料,其覆盖所述闪烁体,
所述防潮材料与所述有源矩阵基板的表面粘接于所述有源矩阵基板的像素区域的外侧。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的