[发明专利]数据处理方法、数据处理装置、数据处理系统及记录介质

权利要求书

1.一种数据处理方法，应用于由多个单位要素构成的数据处理系统中，所述数据处理系统将在单位处理中得到的多个时序数据作为单位处理数据并处理多个单位处理数据，其特征在于，

所述多个时序数据通过在利用处理液进行基板清洗的基板处理装置中使用传感器测定表示该基板处理装置的动作状态的物理量而获得，

所述数据处理系统具有：

设置在每个单位要素中的第一基准数据储存部，储存基准数据，所述基准数据是对每个单位要素从多个单位处理数据中选择出的数据并且是作为用于检测所述基板处理装置的异常的各单位处理数据的比较对象的数据，

由所有单位要素共用的第二基准数据储存部，储存所述基准数据，以及

扩展管理部，用于管理所述基准数据的扩展；

所述数据处理方法包括：

构成信息发送步骤，在追加了单位要素时，从所追加的单位要素即新单位要素向所述扩展管理部发送所述新单位要素的构成信息，

基准数据获取步骤，在所述扩展管理部中，基于所述构成信息从所述第二基准数据储存部获取应扩展到所述新单位要素中的基准数据，

基准数据发送步骤，从所述扩展管理部向所述新单位要素发送在所述基准数据获取步骤中获取的基准数据，以及

基准数据储存步骤，在所述新单位要素中，将在所述基准数据发送步骤中发送来的基准数据储存在所述第一基准数据储存部中。