[发明专利]一种基于陶瓷玻璃微熔工艺的压力传感器在审
| 申请号： | 201910097303.2 | 申请日： | 2019-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN111504524A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 周志明;邢利阳 | 申请（专利权）人： | 南京容宇仪器仪表有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;G01L9/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 211162 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 陶瓷 玻璃 工艺 压力传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于陶瓷玻璃微熔工艺的压力传感器，所述传感器由测压端口(1)、芯片(2)、膜片(3)、信号处理电路板(4)、电连接组件(5)，所述芯片(2)与所述信号处理电路板(4)键合连接，其特征在于，所述膜片(3)为陶瓷膜片(6)，所述芯片(2)与所述陶瓷膜片(6)通过玻璃微熔工艺连接。
2.根据权利要求1所述的一种基于陶瓷玻璃微熔工艺的压力传感器，其特征在于，所述玻璃微熔工艺为所述芯片(2)通过玻璃胶(7)烧结于所述陶瓷膜片(6)上。
3.根据权利要求1所述的一种基于陶瓷玻璃微熔工艺的压力传感器，其特征在于，所述陶瓷膜片(6)固定于金属基座(8)上。
4.根据权利要求1所述的一种基于陶瓷玻璃微熔工艺的压力传感器，其特征在于，所述测压端口(1)与被测端口密封连接。
5.根据权利要求1所述的一种基于陶瓷玻璃微熔工艺的压力传感器，其特征在于，所述信号处理电路板(4)为柔性电路板或硬质电路板。
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