[发明专利]半导体激光模块和激光振荡器在审
申请号: | 201910099926.3 | 申请日: | 2019-01-31 |
公开(公告)号: | CN110137796A | 公开(公告)日: | 2019-08-16 |
发明(设计)人: | 高实哲久 | 申请(专利权)人: | 发那科株式会社 |
主分类号: | H01S5/00 | 分类号: | H01S5/00;G02B27/14;G02B6/42 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体激光模块 激光振荡器 第二面 反射 激光 半导体激光元件 可见光透过 可见光 激光透过 损伤 照射 | ||
本发明提供半导体激光模块和激光振荡器,半导体激光模块和具备该半导体激光模块的激光振荡器能够减少镜的损伤和工时。本发明为半导体激光模块(10),具备:镜(5(5a、5b、5c)),其具有第一面(51)和第二面(52),该第一面(51)对激光(R1)进行反射且使可见光透过,该第二面(52)使激光透过且对可见光进行反射;以及半导体激光元件(3(31、32、33)),且发出向镜(5(5a、5b、5c))的第一面(51)照射的激光(R1)。
技术领域
本发明涉及半导体激光模块和具备该半导体激光模块的激光振荡器。
背景技术
使用于金属、塑料材料等的切断、焊接等的激光振荡器搭载有半导体激光模块来作为光源或激励用的光源。半导体激光模块使半导体激光元件射出的激光耦合(光耦合)于光纤或者在空间中传播,来向谐振器等供给激光。
在将半导体激光元件与光纤耦合所得的光学系统中使用透镜、镜。其中,对镜的表面进行处理使之反射激光,对镜的背面进行处理使之不反射激光。具体地说,利用反射涂料将镜的表面处理成透明的面,以反射激光。另外,通过喷砂将镜的背面等处理成不透明的面,以使激光散射且不使激光反射。通过对该镜的表面和背面进行不同的处理,使得半导体激光模块的制造者能够识别镜的表面和背面。
除此以外,以往以来就提出有一种识别镜的表面和背面的结构(例如参照专利文献1)。在专利文献1中提出有如下技术:在镜的表面,将不对反射性能产生影响的部分的一部分设为非反射面,由此识别镜的表面和背面。
专利文献1:日本特开平2-81002号公报
发明内容
然而,当对镜(mirror)的背面实施喷砂时,会对镜造成损伤,镜的强度和耐久性下降。另外,由于对镜的表面重复照射激光,因此镜的温度会高频率地变化,有时镜会因热循环而破损。并且,如果对镜的背面实施喷砂,则工时增加。
另外,在专利文献1所记载的技术中,在镜的表面中,除了反射性能有效范围外,还需要不对反射性能产生影响的部分。因而,另外还需要形成不对反射性能产生影响的部分的工序,使得工时增加。
本发明是鉴于上述情况而完成的,其目的在于提供能够减少镜的损伤和工时的半导体激光模块和具备该半导体激光模块的激光振荡器。
(1)本发明涉及一种半导体激光模块(例如后述的半导体激光模块10),具备:镜(例如后述的镜5、5a、5b、5c),其具有第一面(例如后述的第一面51)和第二面(例如后述的第二面52),所述第一面对激光(例如后述的激光R1)进行反射且使可见光透过,所述第二面使激光透过且对可见光进行反射;以及半导体激光元件(例如后述的半导体激光元件3、31、32、33),其发出向所述镜的所述第一面照射的激光。
(2)在(1)的半导体激光模块中,也可以是,所述第一面和所述第二面使波长比从所述半导体激光元件照射的所述激光的波长长的光透过。
(3)在(1)或(2)的半导体激光模块中,也可以是,所述第二面的表面粗糙度比所述第一面的表面粗糙度大。
(4)在(1)~(3)中的任一半导体激光模块中,也可以是,所述第二面为球面或柱面。
(5)在(1)~(4)中的任一半导体激光模块中,也可以是,所述第一面与所述第二面之间的距离(例如后述的距离t)比所述第一面的宽度(例如后述的宽度L)的一半长。
(6)在(1)~(5)中的任一半导体激光模块中,也可以是,所述第二面具有切口部(例如后述的切口部52x)。
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