[发明专利]含氟玻璃蚀刻废液的处理方法

说明书

本发明涉及一种含氟玻璃蚀刻废液的处理方法。该处理方法包括如下步骤：加入硫酸对含氟玻璃蚀刻废液进行预处理，得到第一处理液；加入白炭黑到所述第一处理液中，得到第二处理液；加入饱和碱金属盐溶液到所述第二处理液中，得到第三处理液；及对第三处理液进行过滤，得到滤饼和滤液。上述含氟玻璃蚀刻废液的处理方法，工艺简单，在常温常压下即可进行，处理得到的产物滤饼和滤液可以进一步地被利用；利用该方法处理含氟玻璃蚀刻废液，氟化氢转换率高、处理成本低，既节约了资源又保护了环境。

技术领域

本发明涉及废液处理技术领域，特别是涉及一种含氟玻璃蚀刻废液的处理方法。

背景技术

随着科技的发展，人们对电子设备轻、薄化的要求越来越高，所以在电子设备的TFT玻璃制作过程中，往往包含着一道对玻璃进行化学蚀刻减薄的工序。

目前酸液蚀刻处理是常用的玻璃减薄方法，其主要原理是：利用含HF混酸与玻璃中的SiO₂以及其他金属氧化物发生反应，使玻璃材质腐蚀剥离，从而达到快速减薄的目的。利用上述方法减薄玻璃的蚀刻废液中将产生大量的含氟酸液以及一些难溶的金属氧化物。

由于含氟废酸属于危险废弃物，根据我国现有的法律法规，危险废弃物需要有资质的单位进行专项处理，或者由生产单位自主处理成一般的废弃物。目前常用的处理含氟玻璃蚀刻废液方法是采用石灰或石灰石对废液进行中，但是利用此方法对废液中氟化氢的转化率低，并且处理过程中产生大量CaSO₄、CaF₂混合固体，需要很大的后续处理成本。

发明内容

基于此，提供一种氟化氢转换率高、处理成本低的含氟玻璃蚀刻废液的处理方法。

一种含氟玻璃蚀刻废液的处理方法，包括如下步骤：

加入硫酸对含氟玻璃蚀刻废液进行预处理，得到第一处理液；

加入白炭黑到所述第一处理液中，得到第二处理液；

加入饱和碱金属盐溶液到所述第二处理液中，得到第三处理液；

对第三处理液进行过滤，得到滤饼和滤液。

在其中一个实施例中，在所述加入硫酸对含氟玻璃蚀刻废液进行预处理的步骤之前，还包括对所述含氟玻璃蚀刻废液进行沉降过滤处理的步骤。

在其中一个实施例中，所得到第一处理液的步骤包括：向所述含氟玻璃蚀刻废液中加入质量百分浓度为70％～98％的硫酸与所述含氟玻璃蚀刻废液反应1h～2h。

在其中一个实施例中，在所述得到第一处理液的步骤之后，还包括检测所述第一处理液中HF的质量百分含量，然后根据所述HF的质量百分含量计算所述HF的质量的步骤。

在其中一个实施例中，所述得到第二处理液的步骤包括：将所述白炭黑加入到所述第一处理液中反应1h～2h，其中，所述白炭黑的加入质量为所述HF质量的0.5倍～0.6倍。

在其中一个实施例中，在所述得到第二处理液的步骤之后，还包括检测所述第二处理液中H₂SiF₆的质量百分含量，然后根据所述H₂SiF₆的质量百分含量计算所述H₂SiF₆的质量的步骤。

在其中一个实施例中，所述得到第三处理液的步骤包括：以200L/min～400L/min的速度，加入所述饱和碱金属盐溶液到所述第二处理液中反应1h～2h，其中，加入的所述饱和碱金属盐溶液中的金属离子的摩尔质量为所述H₂SiF₆的摩尔质量的2倍～3倍。

在其中一个实施例中，所述饱和碱金属盐溶液选自饱和硫酸钠溶液、饱和氯化钾溶液及饱和氯化钠溶液中的一种。