[发明专利]一种降低摇摆运动的电磁驱动振镜

权利要求书

1.一种降低摇摆运动的电磁驱动振镜，包括电磁振镜芯片(31)、结构体(32)及驱动磁路(34)；所述结构体(32)用于固定电磁振镜芯片(31)及驱动磁路(34)；

其特征在于：

所述电磁振镜芯片(31)包括可动结构、扭转梁(12)及固定框架(13)，所述可动结构通过扭转梁(12)固定在固定框架(13)上；所述驱动磁路(34)用于驱动可动结构运动；

所述可动结构包括可动镜面(11)及设置在可动镜面(11)反面的磁性材料(14)；

定义可动镜面位于水平位置时，可动镜面上表面中心为原点，Z轴垂直于可动镜面；

可动结构重心在Z轴上，且可动结构重心Z向坐标与扭转梁Z向中心坐标相同。

2.根据权利要求1所述的降低摇摆运动的电磁驱动振镜，其特征在于：所述可动结构还包括设置在可动镜面(11)反面的加强筋(15)，所述扭转梁(12)一端与加强筋(15)固定连接，另一端固定在固定框架(13)上。

3.根据权利要求1所述的降低摇摆运动的电磁驱动振镜，其特征在于：所述驱动磁路(34)包括线圈(41)和铁芯；

所述铁芯为蟹钳形，包括铁轭部分及心柱部分(42)，所述线圈(41)绕制在心柱部分(42)上；

所述铁芯的开口端靠近磁性材料；

线圈产生的磁场主磁通沿铁轭传递到铁芯开口端，再出铁芯，作用于磁性材料上，驱动磁性材料带动电磁振镜芯片振动。

4.根据权利要求3所述的降低摇摆运动的电磁驱动振镜，其特征在于：所述铁轭部分包括依次一体设置的第一铁轭部分(43)、第二铁轭部分(44)及开口端(45)，所述第一铁轭部分(43)与心柱部分(42)一体设置，第一铁轭部分(43)、第二铁轭部分(44)及开口端(45)的截面积从大到小变化。

5.根据权利要求4所述的降低摇摆运动的电磁驱动振镜，其特征在于：心柱部分(42)为条形或弧形。

6.根据权利要求5所述的降低摇摆运动的电磁驱动振镜，其特征在于：第一铁轭部分(43)或第二铁轭部分(44)上设有定位部件，通过定位部件将驱动磁路装配到结构体(32)上。

7.根据权利要求3所述的降低摇摆运动的电磁驱动振镜，其特征在于：铁芯材料为高导磁率的纯铁、低碳刚、铁镍合金、硅铁合金或铁氧体。

8.根据权利要求1所述的降低摇摆运动的电磁驱动振镜，其特征在于：电磁振镜芯片(31)和结构体(32)之间设有应力缓冲结构(33)；应力缓冲结构(33)的材料和电磁振镜芯片(31)热膨胀系数相同或相近。

9.根据权利要求1所述的降低摇摆运动的电磁驱动振镜，其特征在于：所述扭转梁(12)为蛇形梁；

所述蛇形梁包括第一直线段(121)、关于第一直线段(121)对称的两个第二直线段(122)及两个第三直线段(123)；所述第一直线段(121)的一端与可动镜面固连，第一直线段(121)的另一端通过U型或C型折弯段(125)与第二直线段(122)的一端连接，第二直线段(122)的另一端通过U型或C型折弯段(125)与第三直线段(123)的一端连接，第三直线段(123)的另一端固定在蛇形梁锚点(124)上；两个蛇形梁锚点(124)关于第一直线段(121)对称分布。

10.根据权利要求2所述的降低摇摆运动的电磁驱动振镜，其特征在于：所述扭转梁(12)为蛇形梁；

所述蛇形梁包括第一直线段(121)、关于第一直线段(121)对称的两个第二直线段(122)及两个第三直线段(123)；所述第一直线段(121)的一端与加强筋固连，第一直线段(121)的另一端通过U型或C型折弯段(125)与第二直线段(122)的一端连接，第二直线段(122)的另一端通过U型或C型折弯段(125)与第三直线段(123)的一端连接，第三直线段(123)的另一端固定在蛇形梁锚点(124)上；两个蛇形梁锚点(124)关于第一直线段(121)对称分布。