[发明专利]一种紫外/可见光响应的石墨烯/二氧化钛/Si基板及其制备方法有效
申请号: | 201910106035.6 | 申请日: | 2019-02-01 |
公开(公告)号: | CN109762517B | 公开(公告)日: | 2020-10-16 |
发明(设计)人: | 程逵;易洋;张怡玮;龙小军;翁文剑 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | H01L31/0216 | 分类号: | H01L31/0216;C09K3/00 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 万尾甜;韩介梅 |
地址: | 310058 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 紫外 可见光 响应 石墨 氧化 si 及其 制备 方法 | ||
本发明公开了一种紫外/可见光响应的石墨烯/TiO2/Si基板及其制备方法。该方法首先在重掺杂硅基板的抛光表面旋涂一层二氧化钛纳米点,再将单层石墨烯转移至TiO2/Si基板的TiO2表面使石墨烯与TiO2纳米点和Si基板均接触。单层石墨烯/Si基板之间形成肖特基结,对可见光响应良好;二氧化钛纳米点对紫外响应良好,三者复合的石墨烯/TiO2/Si基板对可见光和紫外光都能有很好的响应。易于制备的石墨烯/TiO2/Si三明治结构基板不仅能实现对紫外/可见光响应,更有望用于动态光致调控细胞行为。
技术领域
本发明涉及生物医学领域中光响应材料的制备问题,特别涉及一种能够实现紫外光和可见光均响应材料的制备,能够通过外加光场刺激来调控细胞行为。
背景技术
材料与细胞之间的相互作用决定着细胞的行为,基板材料的表面性质影响着蛋白的粘附状态,从而直接或者间接的决定着细胞的粘附、增值和分化。近年来,通过外场(热、光、磁、电、力等)调控材料表面的性质,从而调控细胞行为成为研究的热点[UtoK.Dynamically Tunable Cell Culture Platforms for Tissue Engineering andMechanobiology.Progress in polymer science.65(2017):53-82]。其中,光场调控因为其时空效应和易于操作等特性有着巨大的应用潜力,而光场调控最重要的是寻找光响应良好的材料[Wang X Z.Visible-Light-Responsive Surfaces for Efficient,NoninvasiveCell Sheet Harvesting.ACS applied materialsinterfaces.9(2017):28250-28259]。
石墨烯等二维材料因其独特材料特性(高载流子迁移率、超弹性机械性能、高透光率、超导电率、全波长响应等),获得巨大关注[Geim,A.K.Graphene:Status andProspects.Science.324(2009):1530-1534]。当石墨烯与半导体材料结合,在结合处能够产生肖特基结。例如,把单层石墨烯转移至n-Si表面,在可见光刺激下,空穴-电子对发生分离,空穴(正电荷)在石墨烯表面富集[Kumar R.Nanoscale interface formation andcharge transfer in graphene/silicon Schottky junctions;KPFM and CAFMstudies.Carbon.98(2016):41-49]。同理,当把单层石墨烯转移至Si表面,在可见光刺激下,空穴-电子对发生分离,电子(负电荷)在石墨烯表面富集。通过调控光场强度可以有效的控制石墨烯表面的电荷分布。TiO2作为宽禁带半导体材料(禁带宽度为3.2eV),对紫外光有良好的响应性,并且TiO2纳米点的生物相容性良好。但是,二氧化钛仅对窄波长的紫外光响应(紫外光约占太阳光的3%~5%),有研究表明,通过石墨烯包裹TiO2纳米点的方式,可以将TiO2的禁带宽度降低至2.8eV,从而使其可以对可见光响应[Lee J S.et al.Highlyphotoactive,low bandgap TiO2nanoparticles wrapped by graphene.Advancedmaterials.24(2012):1084-1088]。因此,将石墨烯、二氧化钛和重度掺杂的Si三者结合,有望制备出紫外光和可见光具有良好响应的基板,在模拟太阳光刺激细胞生长的实验中,可以充分利用全波长的太阳光。
发明内容
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的