[发明专利]高功率密度水冷阳极在审
申请号: | 201910106056.8 | 申请日: | 2019-02-01 |
公开(公告)号: | CN109817499A | 公开(公告)日: | 2019-05-28 |
发明(设计)人: | 刘燕文;田宏;石文奇;朱虹;李芬;谷兵;王小霞 | 申请(专利权)人: | 中国科学院电子学研究所 |
主分类号: | H01J1/30 | 分类号: | H01J1/30 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 李坤 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 阳极体 阳极端面 阳极 高功率 水冷 接收功率 密闭空间 难熔金属 蒸发 | ||
1.一种高功率密度水冷阳极,包括:
阳极体;以及
阳极端面,与所述阳极体一个端部相连接,使所述阳极端面与所述阳极体间形成密闭空间。
2.根据权利要求1所述的高功率密度水冷阳极,其中,所述阳极端面与所述阳极体间的漏气率小于1×10-9Pa.m3/s。
3.根据权利要求1所述的高功率密度水冷阳极,其中,所述阳极端面的厚度为0.2-2.0mm。
4.根据权利要求1所述的高功率密度水冷阳极,其中,所述阳极端面的直径不小于阳极体的直径。
5.根据权利要求1所述的高功率密度水冷阳极,其中,所述阳极端面与所述阳极体相焊接;焊接方式包括,电子束熔焊、激光熔焊和钎焊中的一种或多种。
6.根据权利要求1所述的高功率密度水冷阳极,其中,所述阳极体上分别设置有进水口和出水口;所述进水口设置于所述阳极体的一个端部,且与阳极端面相对,所述出水口设置于所述阳极体侧壁上。
7.根据权利要求1所述的高功率密度水冷阳极,其中,所述阳极端面的材料为钨、钽和钼中的一种或多种。
8.根据权利要求1所述的高功率密度水冷阳极,其中,所述阳极体的材料为不锈钢和/或无氧铜。
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