[发明专利]包括多孔金属箔的电子显微镜样品支架

权利要求书

1.一种电子显微镜样品支架，所述电子显微镜样品支架包括：

支架部件，所述支架部件包括布置为形成网格的多个隔开的支架元件；和

包括多孔区域的金属箔；

其中，所述支架部件、支架元件和金属箔全部由相同的金属形成，并且所述支架部件被配置成提供结构稳定性给所述金属箔，并且所述金属箔的所述多孔区域被配置成接收电子显微镜样品，并且其中所述支架还包括与所述金属箔欧姆接触的石墨烯层。

2.根据权利要求1所述的电子显微镜样品支架，其中所述石墨烯层被配置成延伸穿过所述金属箔的所述多孔区域中的小孔。

3.根据权利要求1所述的电子显微镜样品支架，其中所述石墨烯层被配置成支撑所述电子显微镜样品。

4.根据权利要求1所述的电子显微镜样品支架，其中所述石墨烯层包括连续的石墨烯层。

5.根据权利要求1所述的电子显微镜样品支架，其中所述石墨烯层提供额外的结构稳定性给所述样品支架。

6.根据权利要求1所述的电子显微镜样品支架，其中所述石墨烯层被配置成支撑、包围或封装所接收的电子显微镜样品。

7.根据权利要求1所述的电子显微镜样品支架，其中所述金属箔被布置成与所述支架部件欧姆接触。

8.根据权利要求1所述的电子显微镜样品支架，其中所述金属箔包括具有以下各项中的一种或多种的金属：

高传导性；

高的二次电子产生产率；

高力学稳定性；

非反应性金属；和

与生物学电子显微镜样品相容的金属。

9.根据权利要求1所述的电子显微镜样品支架，其中所述金属箔包括以下各项中的至少一项：金、铂、钯、铑或铪的金属箔。

10.根据权利要求1所述的电子显微镜样品支架，其中所述金属箔的所述多孔区域包括金属层，所述金属层包括多个孔。

11.根据权利要求10所述的电子显微镜样品支架，其中每一个所述孔的尺寸被定制为接收至少一个所述电子显微镜样品。

12.根据权利要求1所述的电子显微镜样品支架，其中所述金属箔的厚度被选择为至少是所述电子显微镜样品的最小尺寸。

13.根据权利要求1所述的电子显微镜样品支架，其中所述金属箔的所述多孔区域被布置成延伸穿过所述多个隔开的支架元件的区域。

14.根据权利要求1所述的电子显微镜样品支架，其中所述金属包括以下各项中的至少一项：金、铂、钯、铑或铪。

15.根据权利要求1所述的电子显微镜样品支架，其中所述多孔区域中的小孔被配置成接收将要使用电子显微镜进行检查的辐射敏感材料。

16.一种制造电子显微镜样品支架的方法，所述方法包括：

提供支架部件，所述支架部件包括被布置为形成网格的多个隔开的支架元件，和包含多孔区域的金属箔，其中所述支架部件、支架元件和金属箔全部由相同的金属形成；

配置所述支架部件以提供结构稳定性给所述金属箔；

配置所述金属箔的所述多孔区域以接收电子显微镜样品；以及

提供与所述金属箔欧姆接触的石墨烯层。

17.一种使电子显微镜样品成像的方法，所述方法包括：

将所述电子显微镜样品配置在根据权利要求1至15中任一项所述的支架上；将所述支架布置在显微镜的电子束中；以及，收集分析用的图像数据。

18.根据权利要求17所述的使电子显微镜样品成像的方法，其中所述支架的所述金属箔中的孔的直径与所述电子显微镜的视场相匹配，使得显微镜电子束被布置为均匀地照亮所述孔，所述孔容纳有封装了试样的冰。19.可操作用于提供样品的电子显微镜图像的成像设备，所述设备包括：

电子显微镜样品，所述电子显微镜样品安装在根据权利要求1至15中任一项所述的支架上；显微镜的电子束，所述显微镜的电子束被布置成入射在所述支架上；以及收集设备，所述收集设备可操作用于收集分析用的图像数据。