[发明专利]真空吸盘

权利要求书

1.一种真空吸盘，利用真空压吸附工件，其特征在于，

该真空吸盘(10)具有：支承部件(12)，该支承部件在内部具有真空通路(20)；波纹管(14)，该波纹管固定于所述支承部件；以及限制部件(16)，该限制部件安装于所述波纹管的内侧，在所述波纹管的收缩时所述限制部件进入所述真空通路，在所述波纹管的收缩时阻止所述限制部件相对于所述支承部件的倾斜，在所述波纹管的非收缩时允许所述限制部件相对于所述支承部件的倾斜。

2.根据权利要求1所述的真空吸盘，其特征在于，

在所述波纹管的内壁安装有内环。

3.根据权利要求1所述的真空吸盘，其特征在于，

所述限制部件具有：筒部，该筒部能够嵌入于所述真空通路；以及凸缘部，该凸缘部从所述筒部的一端部朝外延伸，所述凸缘部的顶端卡止于所述波纹管的内壁。

4.根据权利要求3所述的真空吸盘，其特征在于，

所述筒部的另一端部为渐细的锥面，所述真空通路的端部为扩径的锥面。

5.根据权利要求4所述的真空吸盘，其特征在于，

在所述波纹管的非收缩时，所述筒部的锥面隔开规定的间隙而与所述真空通路的锥面相对。

6.根据权利要求4所述的真空吸盘，其特征在于，

在所述波纹管的非收缩时，所述限制部件在轴向上从所述支承部件分离。

7.根据权利要求3所述的真空吸盘，其特征在于，

在所述筒部设置有：纵孔，该纵孔在轴向上贯通；以及横孔，该横孔与所述纵孔连通，并且在所述筒部的侧面开口。

8.根据权利要求3所述的真空吸盘，其特征在于，

在所述筒部设置有在轴向上贯通的纵孔，在所述筒部的外周面设置有沿轴向延伸的狭缝状的槽，在所述凸缘部设置有在厚度方向上贯通且与所述槽相连的贯通孔。

9.根据权利要求3所述的真空吸盘，其特征在于，

所述凸缘部为覆盖所述波纹管的下端部的形状。

10.根据权利要求9所述的真空吸盘，其特征在于，

所述限制部件由金属材料或者导电性树脂材料构成。