[发明专利]表面增强拉曼散射基底、制备方法及3D富集与检测方法有效
申请号: | 201910107266.9 | 申请日: | 2019-02-02 |
公开(公告)号: | CN109650325B | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 李锐锐;毛海央;张琛琛;杨宇东 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | B81B7/04 | 分类号: | B81B7/04;B81C1/00;G01N1/40;G01N21/65 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 表面 增强 散射 基底 制备 方法 富集 检测 | ||
1.一种表面增强拉曼散射基底,其特征在于,所述表面增强拉曼散射基底包括:
衬底;
疏水性有机物再聚合纳米链条层,形成于所述衬底上,所述疏水性有机物再聚合纳米链条层具有由疏水性有机物再聚合纳米颗粒堆积而成的纳米链条;以及
金属纳米颗粒层,形成于所述疏水性有机物再聚合纳米链条层的表面;
其中,所述疏水性有机物再聚合纳米链条层和金属纳米颗粒层相接触的部分形成金属-疏水性有机物复合纳米颗粒或链条。
2.根据权利要求1所述的表面增强拉曼散射基底,其特征在于,所述纳米链条的长度为0.5~5μm。
3.根据权利要求1所述的表面增强拉曼散射基底,其特征在于,所述疏水性有机物再聚合纳米链条层利用固化的疏水性有机物通过化学气相沉积法制备得到。
4.根据权利要求1所述的表面增强拉曼散射基底,其特征在于,所述疏水性有机物再聚合纳米链条层为聚二甲基硅氧烷再聚合纳米链条层,利用固化的聚二甲基硅氧烷通过化学气相沉积法制备得到。
5.根据权利要求1所述的表面增强拉曼散射基底,其特征在于:
所述金属纳米颗粒层的材料为金、银、铜、铝或铂,所述金属纳米颗粒层通过溅射、蒸发或喷涂方式沉积得到;
所述衬底为硅片、玻璃片、石英片、蓝宝石片、载玻片、金属片、聚合物薄膜、玻璃纤维衬底或碳纤维衬底。
6.根据权利要求1所述的表面增强拉曼散射基底,其特征在于,所述金属纳米颗粒层的厚度为10~50nm。
7.根据权利要求1所述的表面增强拉曼散射基底,其特征在于,所述衬底的表面还设置有:
液滴注入槽;
检测槽;以及
滚动槽流道结构,其两端分别与所述液滴注入槽和检测槽连通。
8.根据权利要求7所述的表面增强拉曼散射基底,其特征在于,所述液滴注入槽和检测槽的直径均为2~5mm,深度为2~100μm,所述滚动槽流道结构的长度为3~6mm,深度为2~100μm。
9.一种表面增强拉曼散射基底的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括如下步骤:
提供衬底;
在所述衬底上形成疏水性有机物再聚合纳米链条层;
在所述疏水性有机物再聚合纳米链条层的表面形成金属纳米颗粒层;
其中,所述疏水性有机物再聚合纳米链条层和金属纳米颗粒层相接触的部分形成金属-疏水性有机物复合纳米颗粒或链条。
10.根据权利要求9所述的制备方法,其特征在于,所述疏水性有机物再聚合纳米链条层利用固化的疏水性有机物通过化学气相沉积法制备得到。
11.根据权利要求9所述的制备方法,其特征在于,所述疏水性有机物再聚合纳米链条层的纳米链条的长度为0.5~5μm。
12.根据权利要求9所述的制备方法,其特征在于,所述疏水性有机物再聚合纳米链条层具体通过以下方法制备:
将固化的疏水性有机物作为蒸发源和衬底共同投入温度为400~700℃氧气气氛炉中进行蒸发和沉积。
13.根据权利要求9所述的制备方法,其特征在于:
所述金属纳米颗粒层通过溅射、蒸发或喷涂方式沉积得到;
所述提供衬底的步骤还包括:在所述衬底上制备液滴注入槽、检测槽以及滚动槽流道结构的步骤,其中,所述滚动槽流道结构的两端分别与所述液滴注入槽和检测槽连通。
14.根据权利要求9所述的制备方法,其特征在于,所述金属纳米颗粒层的厚度为10~50nm。
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