[发明专利]一种高频电聚焦离子加速装置的机械结构及其装配方法

权利要求书

1.一种高频电聚焦离子加速装置的机械结构的装配方法，其特征在于，在该机械结构中，漂移管组件中漂移管两边的漂移管支撑杆通过第一紧固部件紧固在两块相对布置的单翼上，所述第一紧固部件的安装操作面为单翼的外腔壁面，该装配方法包括：

（1）完成下垂直单翼、左水平单翼和前端盖的安装以及这两块单翼上漂移管组件和极头块的安装；其中，使所述漂移管组件和极头块的几何中心与单翼的几何中心重合，保证各单翼端面平齐；

（2）依序完成右水平单翼上极头块的安装，所述右水平单翼在所述下垂直单翼上的安装以及水平漂移管组件两端在左右水平单翼上的紧固；

其中，所述右水平单翼在所述下垂直单翼上的安装过程中，利用第一紧固部件的松紧功能微调水平漂移管组件与左右水平单翼的配合间隙、使其满足预设精度要求，包括：将辅助拉伸部件穿入所述右水平单翼上第一紧固部件的安装孔，并使其连接上待与该右水平单翼安装的漂移管支撑杆，通过所述第一紧固部件缓慢松解所述左水平单翼上另一漂移管支撑杆，同时向右拉所述辅助伸拉部件，使本漂移管组件与左右水平单翼之间的配合间隙满足预设精度要求的距离，以此类推，完成其它水平方向漂移管组件的调整；

（3）安装后端盖，并使用测量臂检测安装位置，使漂移管组件、极头块的几何中心与三块单翼的几何中心重合；

（4）拆卸后端盖，将子装配体以前端盖为底面，按照步骤（2）的装配方法完成上垂直单翼的安装，并保证任意相互垂直的两单翼内壁面的垂直度、四块单翼端面的平面度均满足相应的精度要求，最后装配后端盖即可。

2.如权利要求1所述的装配方法，其特征在于，所述辅助拉伸部件中与漂移管支撑杆实现连接的结构与所述第一紧固部件相同。