[发明专利]一种升压模式的阳极氧化工艺

说明书

本发明是一种升压模式的阳极氧化工艺，其特征在于：硫酸阳极氧化过程采取整体逐渐升压的模式，且电压以逐渐递增再递减的方式增长；槽液控制温度为12～13℃，起始电压为8～9V，起始电压依据槽液温度进行微调，槽液温度较低则需要提升电压，反之，则降低电压；通过阶段升压模式进行铝合金硫酸阳极氧化处理，可有效控制膜厚的增长，同时，本发明工艺采用升压模式进行阳极氧化，所需时间较短，且得到的氧化膜比较致密，硬度较高。

技术领域

本专利属于半导体表面处理领域，特别是涉及氧化膜厚要求较高且致密的铝合金硫酸阳极氧化零部件。

背景技术

在半导体领域，阳极氧化主要是提升铝合金零部件的硬度、耐磨性以及耐腐蚀性。常用的等压或者等流模式，极易容易出现膜层击穿烧损问题，膜层硬度较低且所需时间较长。而升压模式的阳极氧化方式，得到的膜层比较致密、硬度较高，并且所需时间较短，有效避免了等压或等流模式出现的膜层击穿烧损问题。

发明内容

针对上述存在的问题，本发明采用抛光、高压水洗以及喷砂的方式对小孔进行处理，工艺简单稳定、成本低、操作简便且应用范围广。

本发明的目的是通过如下技术方案实现的：

一种升压模式的阳极氧化工艺，其特征在于：硫酸阳极氧化过程采取整体逐渐升压的模式，且电压以逐渐递增再递减的方式增长；

槽液控制温度为12～13℃，起始电压为8～9V，起始电压依据槽液温度进行微调，槽液温度较低则需要提升电压，反之，则降低电压；

不同电压保持阶段包含9～10段，每段电压升压时间约为4～6min，最终升压阶段以及保持时间依据膜厚要求进行调整；

最终控制电压为22～26V，电压保持时间依据最终要求膜厚进行调整。

本发明的有益效果是：

1.本发明工艺采用升压模式进行阳极氧化，所需时间较短，且得到的氧化膜比较致密，硬度较高。

2.本发明工艺有效解决了等电压或者等电流模式造成的阳极膜击穿烧损问题，大大提升了产品的良率。

具体实施方式

下面结合实施例对本发明进行详细描述。

一种升压模式的阳极氧化工艺，其特征在于：硫酸阳极氧化过程采取整体逐渐升压的模式，且电压以逐渐递增再递减的方式增长；

槽液控制温度为12～13℃，起始电压为8～9V，起始电压依据槽液温度进行微调，槽液温度较低则需要提升电压，反之，则降低电压；

不同电压保持阶段包含9～10段，每段电压升压时间约为4～6min，最终升压阶段以及保持时间依据膜厚要求进行调整；

最终控制电压为22～26V，电压保持时间依据最终要求膜厚进行调整。

实施例：

使用400#砂纸以及灰色菜瓜布抛光6系铝合金试片，待表面纹路均匀，且Ra<0.8μm即可；

抛光完成后，采用适当的挂具上挂试片；

然后，按照脱脂清洗-水洗-热碱水-水洗-酸洗-水洗的流程，对试片进行前处理；

待前处理完成后，按照如下参数进行阳极参数设定，槽液温度为12～13℃；

最后，纯水封孔，待封孔完毕后取出试片，水洗，CDA吹干即可。