[发明专利]一种制备高致密氧化钇涂层的方法在审
| 申请号： | 201910109348.7 | 申请日： | 2019-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN109877012A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 徐俊阳;李加 | 申请（专利权）人： | 沈阳富创精密设备有限公司 |
| 主分类号： | B05D1/02 | 分类号： | B05D1/02;B05D1/32;C23C4/134;C23C4/11 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 俞鲁江 |
| 地址： | 110000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 喷涂 氧化钇涂层 制备 高致密 大气等离子喷涂 致密 半导体领域 悬浮液技术 清洗零件 涂层应用 综合性能 结合力 孔隙率 悬浮液 氧化钇 | ||
1.一种制备高致密氧化钇涂层的方法，其特征包括：
(1)喷涂前，清洗零件，不允许残留机械零件的屑渣及油污；将非喷涂区进行遮挡保护；
(2)用大气等离子喷涂技术喷涂一层很薄的氧化钇涂层；
(3)再用喷涂结合悬浮液技术，喷涂一层氧化钇悬浮液涂层；
(4)喷涂后，测量涂层厚度，将遮蔽保护去掉，清洗零件，保证零件高洁净度。
2.如权利要求1所述的一种制备高致密氧化钇涂层的方法，其特征在于，所述步骤(1)的清洗可采用喷淋或者浸入的方式清洗，可以用超声波水方法去除油污和屑渣，保证零件干净、干燥。
3.如权利要求1所述的一种制备高致密氧化钇涂层的方法，其特征在于，所述步骤(2)中，用大气等离子喷涂技术制备的氧化钇涂层厚度小于总涂层厚度的一半，该涂层的表面粗糙度范围在250-300μ-in。
4.如权利要求1所述的一种制备高致密氧化钇涂层的方法，其特征在于，所述步骤(3)中的喷涂结合悬浮液技术，可以采用大气等离子喷涂结合悬浮液技术；或者采用超音速火焰喷涂结合悬浮液技术。
5.如权利要求1所述的一种制备高致密氧化钇涂层的方法，其特征在于，所述步骤(4)中，喷涂后，要测量膜层厚度，保证零部件各个部位的膜层厚度均匀，若膜层厚度符合要求，则可以去除遮蔽保护，清洗零件。
6.如权利要求1所述的一种制备高致密氧化钇涂层的方法，其特征在于，该涂层综合性能良好。该涂层可用于半导体设备上对零件的耐腐蚀性有要求的关键零部件。
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