[发明专利]压力传感器

权利要求书

1.一种压力传感器，包括：

第一基底，所述第一基底包括腔室、可变形隔膜、第一电极以及第二电极，其中，所述可变形隔膜形成于所述腔室的一侧处，而所述第一电极形成于所述腔室的面向所述可变形隔膜的相对侧处，其中，所述第一电极通过所述腔室与所述可变形隔膜隔开，且所述第二电极形成于所述可变形隔膜上；以及

第二基底，所述第二基底附连到所述第一基底并且在其内形成间隙，其中，所述可变形隔膜位于所述间隙内，所述可变形隔膜响应于压力而变形，且所述第一电极和所述第二电极响应于通过所述可变形隔膜的变形而产生信号。

2.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述第二基底包括支承部分和接触部分，其中，所述支承部分构造成附连到所述第二基底，所述接触部分构造成向位于所述压力传感器之外的装置提供电气连接。

3.如权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，悬置元件使所述支承部分从所述接触部分悬置。

4.如权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，还包括形成于所述第二基底内的槽，其中，所述槽使所述支承部分与所述接触部分分隔开。

5.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，还包括定位元件，所述定位元件构造成使所述第一基底与所述第二基底分隔开并且在其内形成所述间隙。

6.如权利要求5所述的压力传感器，其特征在于，所述定位元件包括提供机械稳定性的机械定位件，并且所述定位元件还包括提供所述第一基底和所述第二基底之间的电气连接的电气定位件。

7.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述第二基底还包括使所述可变形隔膜露出的开口。

8.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述第一电极和所述第二电极构成电容器。

9.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，还包括构造成处理所述信号的处理电路。

10.一种传感器，包括：

第一基底，所述第一基底包括腔室、可变形隔膜、第一电极以及第二电极，其中，所述可变形隔膜形成于所述腔室的一侧处，而所述第一电极形成于所述腔室的面向所述可变形隔膜的相对侧处，其中，所述第一电极通过所述腔室与所述可变形隔膜隔开，且所述第二电极形成于所述可变形隔膜上；以及

第二基底，所述第二基底附连到所述第一基底并且在其内形成间隙，其中，所述可变形隔膜位于所述间隙内，所述第一电极和所述第二电极响应于通过所述可变形隔膜的变形而产生信号。

11.如权利要求10所述的传感器，其特征在于，所述第二基底包括支承部分和接触部分，其中，所述支承部分构造成附连到所述第二基底，所述接触部分构造成向位于所述压力传感器之外的装置提供电气连接。

12.如权利要求11所述的传感器，其特征在于，悬置元件使所述支承部分从所述接触部分悬置。

13.如权利要求11所述的传感器，其特征在于，还包括形成于所述第二基底内的槽，其中，所述槽使所述支承部分与所述接触部分分隔开。

14.如权利要求10所述的传感器，其特征在于，还包括定位元件，所述定位元件构造成使所述第一基底与所述第二基底分隔开并且在其内形成所述间隙。

15.如权利要求14所述的传感器，其特征在于，所述定位元件包括提供机械稳定性的机械定位件，并且所述定位元件还包括提供所述第一基底和所述第二基底之间的电气连接的电气定位件。

16.如权利要求10所述的传感器，其特征在于，还包括构造成处理所述信号的处理电路。