[发明专利]机器人系统以及机器人的控制方法

说明书

本发明提供一种机器人系统以及机器人的控制方法，即使在周围的温度等条件存在变化的情况下也能够以均匀的层厚来涂布液体。包括：机器人(10)；液体涂布部(20)，设于机器人(10)；涂布厚度测量部(22)，对由液体涂布部(20)所涂布的液体的涂布厚度进行测量；以及控制部(73)，当由涂布厚度测量部(22)所测量的涂布厚度大于规定厚度时，以使液体涂布部(20)接近涂布对象(40)的方式，驱动机器人(10)，当由涂布厚度测量部(22)所测量的涂布厚度小于规定厚度时，以使液体涂布部(20)远离涂布对象(40)的方式，驱动机器人(10)。

技术领域

本发明涉及一种机器人系统(robot system)以及机器人的控制方法。

背景技术

在专利文献1中揭示了下述技术：在上下移动的致动器(actuator)上安装模头(die head)，通过配设在模头中的距离测定传感器(sensor)来测定模头与基板表面的距离，将模头与基板表面的距离维持为设定距离。根据专利文献1，追随于基板的起伏而在基板上形成均匀的涂布膜。

在专利文献2中揭示了下述技术：根据溶液的粘度来设定药液喷嘴(nozzle)相对于基盘的位置。根据专利文献2，在基盘表面以均匀的膜厚来涂布高粘度的溶液。

[现有技术文献]

[专利文献]

专利文献1：日本专利特开2004-298697号公报

专利文献2：日本专利特开2010-042325号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

但是，在使用机器人在基板等上涂布液体的情况下，液体的涂布厚度不仅受到基板的起伏影响，而且受到周围温度、液体涂布部中的液体剩余量、或者液体涂布部内的压力等影响。关于此点，在专利文献1及专利文献2所记载的技术中，无法实时(real time)地追随于周围的温度变化等来控制液体的涂布量，从而无法以均匀的层厚来涂布液体。

因此，本发明的课题在于提供一种即使在周围的温度等条件存在变化的情况下也能够以均匀的层厚来涂布液体的机器人系统以及机器人的控制方法。

[解决问题的技术手段]

为了解决所述课题，本揭示的机器人系统包括：

机器人；

液体涂布部，设于所述机器人；

涂布厚度测量部，对由所述液体涂布部所涂布的液体的涂布厚度进行测量；以及

控制部，当由所述涂布厚度测量部所测量的涂布厚度大于规定厚度时，以使所述液体涂布部接近涂布对象的方式，驱动所述机器人，当由所述涂布厚度测量部所测量的涂布厚度小于规定厚度时，以使所述液体涂布部远离所述涂布对象的方式，驱动所述机器人。

所述机器人系统中，通过设于机器人的液体涂布部来涂布液体，通过涂布厚度测量部来测量液体的涂布厚度。控制部在由涂布厚度测量部所测量的涂布厚度大于规定厚度时，以使液体涂布部接近涂布对象的方式，驱动机器人。而且，控制部在由涂布厚度测量部所测量的涂布厚度小于规定厚度时，以使液体涂布部远离涂布对象的方式，驱动机器人。

因此，根据所述机器人系统，对液体的涂布厚度进行测量，且根据涂布厚度来线性(linear)地实时控制液体涂布部与涂布对象的距离，因此，即使在周围的温度等条件存在变化的情况下，也能够以均匀的层厚来涂布液体。

一实施方式的机器人系统中，

所述液体涂布部包括注射器(syringe)及喷嘴，通过将所述注射器内设为负压，从而抑制液体的喷出，通过将注射器内设为大气压或正压，从而进行液体的喷出。