[发明专利]一种ICP设备及其线圈驱动电路、控制方法

权利要求书

1.一种ICP设备的线圈驱动电路，其特征在于，包括：射频功率输出电路、第一通路、第二通路以及开关单元；其中，

所述射频功率输出电路具有用于输出第一射频功率的第一射频功率输出端，以及用于输出第二射频功率的第二射频输出端；

第一通路包括第一线圈和第一平衡电容，所述第一线圈的第一端连接至第一射频功率输出端、第二端通过所述第一平衡电容接地；

第二通路包括第二线圈和第二平衡电容，所述第二线圈的第一端连接至第二射频功率输出端、第二端通过所述第二平衡电容接地，所述第二线圈包围所述第一线圈，所述第一平衡电容和所述第二平衡电容决定经过第一平衡电容和第二平衡电容的反射功率，来自所述射频功率输出电路的入射功率与所述反射功率形成驻波，使得所述第一线圈和所述第二线圈在预设射频频率下达到电压平衡态，处于电压平衡态时所述第一线圈和所述第二线圈上的电压在整个线圈长度上对称分布；

所述开关单元，连接于所述第一通路和/或所述第二通路中，用于在点燃等离子体时处于第一状态，以破坏所述电压平衡态；并在点燃等离子体后处于第二状态，以保持所述电压平衡态。

2.根据权利要求1所述的线圈驱动电路，其特征在于，所述开关单元串接于所述第一通路或所述第二通路中，所述第一状态为开路状态，所述第二状态为闭合状态。

3.根据权利要求2所述的线圈驱动电路，其特征在于，第一平衡电容或第二平衡电容通过所述开关单元接地。

4.根据权利要求1所述的线圈驱动电路，其特征在于，所述第一线圈的第二端或所述第二线圈的第二端通过所述开关单元接地，所述第一状态为闭合状态，所述第二状态为开路状态。

5.根据权利要求1所述的线圈驱动电路，其特征在于，所述第一线圈的第二端通过所述开关单元连接至所述第二线圈的第二端，所述第一状态为闭合状态，所述第二状态为开路状态。

6.根据权利要求1所述的线圈驱动电路，其特征在于，还包括控制单元，用于控制所述开关单元的状态。

7.根据权利要求1所述的线圈驱动电路，其特征在于所述射频功率输出电路包括依次连接的射频功率源、匹配网络和功率分配器，所述功率分配器具有第一射频输出端和第二射频输出端。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的线圈驱动电路，其特征在于，所述开关单元包括继电器、接触器、断路器或IGBT。

9.一种线圈驱动电路的控制方法，其特征在于，所述线圈驱动电路包括：射频功率输出电路、第一通路、第二通路以及开关单元；其中，

所述射频功率输出电路具有输出第一射频功率的第一射频功率输出端，以及输出第二射频功率的第二射频输出端；

第一通路包括第一线圈和第一平衡电容，所述第一线圈的第一端连接至射频功率输出端、第二端通过所述第一平衡电容接地；

第二通路包括第二线圈和第二平衡电容，所述第二线圈的第一端连接至射频功率输出端、第二端通过所述第二平衡电容接地，所述第二线圈包围所述第一线圈，所述第一平衡电容和所述第二平衡电容决定经过第一平衡电容和第二平衡电容的反射功率，来自所述射频功率输出电路的入射功率与所述反射功率形成驻波，使得所述第一线圈和所述第二线圈在预设射频频率下达到电压平衡态，处于电压平衡态时所述第一线圈和所述第二线圈上的电压在整个线圈长度上对称分布；

所述开关单元，连接于所述第一通路和/或所述第二通路中；

所述控制方法包括：所述射频功率输出端输出预设射频功率，在点燃等离子体时控制所述开关单元处于第一状态，以破坏所述电压平衡态；

在点燃等离子体后控制所述开关单元处于第二状态，以保持所述电压平衡态。

10.一种ICP设备，其特征在于，包括反应腔、绝缘窗以及如权利要求1-8中任一项所述的线圈驱动电路，所述绝缘窗设置于所述反应腔顶部，所述线圈驱动电路中的第一线圈和第二线圈设置于所述绝缘窗之上。