[发明专利]拍摄装置

说明书

一种拍摄装置，具备半导体基板、设于基板且在沿着基板的表面的第1方向排列的多个像素、设于基板的电荷检测部、多个电荷保持部、输出栅极部及移位栅极部。电荷检测部设在从多个像素的列向第2方向离开的位置。多个电荷保持部设在多个像素的列的电荷检测部侧，经由电荷传输部与多个像素连接。输出栅极部位于电荷检测部与多个电荷保持部间，包括从电荷检测部向朝向多个像素的列的方向以放射状延伸的多个电荷传输沟道。移位栅极部位于多个电荷传输沟道中的沿第3方向延伸的电荷传输沟道和电荷保持部中之间。移位栅极部具有设在半导体基板上的栅电极，栅电极的平面形状包括与电荷传输沟道最接近的边、即与第3方向正交的边。

本申请以日本专利申请2018－170730号(申请日：2018年9月12日)作为基础申请来主张优先权。本申请通过参照该基础申请而包括基础申请的全部内容。

技术领域

实施方式涉及拍摄装置。

背景技术

拍摄装置例如具有多个像素，希望将在各个像素中被光电转换后得到的信号无延迟地以规定的定时进行输出。

发明内容

实施方式提供一种缩短了经光电转换而产生的电荷的传输时间的拍摄装置。

实施方式涉及的拍摄装置具备：半导体基板；多个像素，设置于上述半导体基板，在沿着上述半导体基板的表面的第1方向排列；电荷检测部，设置于上述半导体基板；多个电荷保持部；输出栅极部；以及移位栅极部。上述电荷检测部被设置在从上述多个像素的列向与上述第1方向正交的第2方向离开的位置。上述多个电荷保持部被设置在上述多个像素的列的上述电荷检测部侧，并经由电荷传输部与上述多个像素分别连接。上述输出栅极部位于上述电荷检测部与上述多个电荷保持部之间，包括从上述电荷检测部沿朝向上述多个像素的列的方向以放射状延伸的多个电荷传输沟道。上述移位栅极部位于上述多个电荷传输沟道中的沿与上述第1方向以及上述第2方向交叉的第3方向延伸的电荷传输沟道与上述多个电荷保持部中的一个电荷保持部之间。上述移位栅极部具有设置在上述半导体基板上的栅电极，上述栅电极的平面形状包括与沿上述第3方向延伸的电荷传输沟道最接近且与上述第3方向正交的边。

附图说明

图1是表示第1实施方式涉及的拍摄装置的示意图。

图2(a)以及(b)是表示第1实施方式涉及的拍摄装置的构造的示意图。

图3是表示比较例涉及的拍摄装置的示意图。

图4(a)以及(b)是表示第1实施方式涉及的拍摄装置的动作的时间图。

图5是表示第1实施方式的变形例涉及的拍摄装置的示意图。

图6是表示第2实施方式涉及的拍摄装置的示意图。

图7是表示第2实施方式的变形例涉及的拍摄装置的示意图。

具体实施方式

以下，参照附图对实施方式进行说明。对附图中的相同部分赋予相同的编号来适当地省略其详细说明，对不同的部分进行说明。其中，附图是示意图或者概念图，各部分的厚度与宽度的关系、部分间的大小的比率等并不一定与现实的部分相同。另外，即使在表示相同部分的情况下，也存在因附图的不同而相互的尺寸、比率被表现得不同的情况。

并且，使用各图中所示的X轴、Y轴以及Z轴来对各部分的配置以及构成进行说明。X轴、Y轴、Z轴相互正交，分别表示X方向、Y方向、Z方向。另外，有时将Z方向作为上方、将其相反方向作为下方来进行说明。

(第1实施方式)

图1是表示第1实施方式涉及的拍摄装置1的示意图。拍摄装置1例如是多个像素PD沿X方向排列的所谓线性图像传感器(linear image sensor)。