[发明专利]一种高品质石英舟的生产加工方法

说明书

本发明公开了一种高品质石英舟的生产加工方法，属于半导体硅片载具技术领域，解决了传统石英舟生产工艺加工出的产品易形变、产品品质较差的问题。主要包括来料检、切割、加工中心加工、酸洗、纯水清洗、火加工、支承退火、酸洗、纯水清洗、封装发货等工序。本发明加工工艺生产出的产品品质高，槽棒由耐高温平板支承，有效防止槽棒在退火过程中产生的形变；拉绳式退火支承台结构设计使得本发明具有非常强的通用性；本发明改进成本低，退火支承台制造成本低，操作使用方便快捷，实用性很强，应用广泛，在石英舟加工技术领域具有重要意义。

技术领域

本发明属于半导体硅片载具技术领域，具体地说，尤其涉及一种操作简单、制造成本低、大幅度提高产品品质的高品质石英舟的生产加工方法。

背景技术

石英舟是一种半导体硅片承载工具，目前应用最为广泛有两个用途：1.太阳能电池片在制作过程中有一步很关键的步骤叫扩散，这个步骤中需要石英舟作为承载夹具在扩散炉固定硅太阳能电池片半成品；2.半导体硅片在制作过程中有多个工序步骤，从一道工序运输到下道工序需要石英舟承载半成品硅片，比如LED外延片生产过程中，需要多次硅片外观、产品性能检验，检验前、检验后的产品都需要石英舟承载。如说明书附图图1所示，常见的石英舟包括两侧板，以及固定在两侧板之间的两石英舟上槽棒和两石英舟下槽棒。传统石英舟的加工工艺包括以下加工流程：来料检→切割→加工中心加工→酸洗→纯水清洗→火加工→退火炉退火→酸洗→纯水清洗→封装发货。依照传统加工工艺生产出的产品品质较差，原因是在退火过程中，产品直接放置在石英架上由拉钩连同石英架推入退火炉内退火，退火结束后再由拉钩勾住石英架将产品拉出放置在石墨板上进行冷却。由于石英舟槽棒为长条状结构设计，其在高温退火过程中，容易发生形变，尤其在槽棒中心位置处，也就是在槽棒的重心位置处形变较为明显，严重影响产品的品质和企业口碑。而退火又是必不可少的工序，因为石英舟半成品在经过火加工工序后焊接处会产生应力，如果不去除应力，焊接处会发生断裂。

发明内容

本发明的目的是针对现有技术存在的不足，提供了一种操作简单、制造成本低、大幅度提高产品品质的高品质石英舟的生产加工方法。

本发明是通过以下技术方案实现的：

一种高品质石英舟的生产加工方法，包括如下操作步骤：

a.来料检；

b.切割：将步骤a检验合格的石英棒按照规定尺寸要求进行切割；

c.加工中心加工；利用加工中心加工出石英棒的插片槽及石英舟的侧板；

d.酸洗：利用酸洗溶液洁净步骤c的产物；

e.纯水清洗：将步骤d的产物放入纯水中进行清洗，清洗后自然晾干；

f.火加工：利用石英焊枪焊接步骤e的产物，将石英棒与侧板固接后，石英舟半成品成型；

g.支承退火：将步骤f的石英舟半成品推入退火炉内进行退火去应力，该石英舟半成品在炉内由退火支承台支承后放置在石英棉上，所述石英棉平铺于石英架上；退火结束后，将退火后的半成品拉出静置于石墨板上慢慢冷却；

h.酸洗：将步骤g中冷却后的产物放入酸洗溶液中进行清洗；

i.纯水清洗：将步骤h的产物放入纯水中进行清洗，清洗后自然晾干；

j.封装发货：将步骤i中的产物进行出厂检验，将检验合格的产品封装发货。

优选地，所述退火的温度为1000-1150℃，退火时间为35-55min。

优选地，所述退火支承台包括相对设置在石英舟两长侧面外侧的两个耐高温支撑架；