[发明专利]曝光装置、移动体装置以及器件制造方法

权利要求书

1.一种移动体装置，其特征在于，具备：

基座部件；

移动体，其能够在所述基座部件上与规定面平行地进行至少二维移动；

磁悬浮方式的平面电机，其具有设置于所述基座部件的定子和设置于所述移动体的可动元件；以及

控制装置，其在所述移动体加速和减速时，以使所述平面电机发出从所述移动体朝向所述基座部件的方向的驱动力的方式控制所述平面电机。

2.一种移动体装置，其特征在于，具备：

基座部件；

移动体，其能够在所述基座部件上与规定面平行地进行至少二维移动；

磁悬浮方式的平面电机，其具有设置于所述基座部件的定子和设置于所述移动体的可动元件；以及

控制装置，其在所述移动体加速和减速时，为了避免所述移动体的纵摇而以使所述平面电机发出从所述移动体朝向所述基座部件的方向的驱动力的方式控制所述平面电机。

3.一种移动体装置，其特征在于，具备：

基座部件；

移动体，其能够在所述基座部件上与规定面平行地进行至少二维移动；

磁悬浮方式的平面电机，其具有设置于所述基座部件的定子和设置于所述移动体的可动元件；以及

控制装置，其通过利用所述平面电机对所述移动体产生与所述规定面交叉且从所述移动体朝向所述基座部件的方向的驱动力，而将所述移动体的动作限定为与所述规定面平行的方向。

4.一种移动体装置，其特征在于，具备：

基座部件；

移动体，其能够在所述基座部件上与规定面平行地进行至少二维移动；

磁悬浮方式的平面电机，其具有设置于所述基座部件的定子和设置于所述移动体的可动元件；

计测系统，其对所述移动体的位置进行计测；以及

控制装置，其具有对所述移动体的动作进行控制的第一模式和第二模式，

所述控制装置在所述第一模式下，为了使所述移动体移动至目标位置而基于由所述计测系统计测得到的信息来控制所述平面电机，在所述第二模式下，不使所述移动体移动至所述目标位置，以对所述移动体发出与所述规定面交叉且从所述移动体朝向所述基座部件的方向的驱动力的方式控制所述平面电机。

5.根据权利要求3或4所述的移动体装置，其特征在于，

在所述移动体加速和减速时，所述控制装置以使所述平面电机发出从所述移动体朝向所述基座部件的方向的驱动力的方式进行控制。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的移动体装置，其特征在于，

在所述移动体停止时，所述控制装置以使所述平面电机发出从所述移动体朝向所述基座部件的方向的驱动力的方式进行控制。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的移动体装置，其特征在于，

在所述移动体开启动力制动器时或所述移动体与减振器等碰撞时，所述控制装置以使所述平面电机发出从所述移动体朝向所述基座部件的方向的驱动力的方式进行控制。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的移动体装置，其特征在于，

还具有地震传感器，在所述地震传感器检测出地面震动时，所述控制装置以使所述平面电机发出从所述移动体朝向所述基座部件的方向的驱动力的方式进行控制。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的移动体装置，其特征在于，

所述平面电机的驱动力作用于所述移动体与所述基座部件之间。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的移动体装置，其特征在于，

所述平面电机的驱动力作用于所述移动体的位置与所述移动体的重心位置相比位于下方，其中，所述移动体的重心位置相关于与所述规定面交叉的方向。