[发明专利]用于金属电极的表面改性剂、经表面改性的金属电极及经表面改性的金属电极的生产方法在审
申请号: | 201910117574.X | 申请日: | 2013-11-18 |
公开(公告)号: | CN109872830A | 公开(公告)日: | 2019-06-11 |
发明(设计)人: | 伊藤雄佑;清森步 | 申请(专利权)人: | 信越化学工业株式会社 |
主分类号: | H01B1/08 | 分类号: | H01B1/08;H01L51/56 |
代理公司: | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人: | 权鲜枝 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金属电极 表面改性 表面改性剂 活性甲硅烷基 生产 | ||
1.一种用于金属电极的表面改性剂,包含由通式(1)代表的活性甲硅烷基化合物:
Rf-X-A-SiR13-n(OR2)n (1)
其中
Rf是具有6至10个碳原子的芳香基基团,或具有有1至5个碳原子的烷基取代基的具有6至10个碳原子的芳香基基团,其中用氟原子取代芳香基或烷基上的至少一个氢原子,Rf不是五氟苯基,
X代表从-O-、-NH-、-C(=O)NH-、-OC(=O)NH-、和-NHC(=O)NH-选择的二价基团,或单键,
A代表具有1至10个碳原子的直链、支链或环式脂肪族二价烃基团,选自亚甲基、1,2-乙二基、1,1-乙二基、1,2-乙烯二基、1,1-乙烯二基、1,3-丙二基、1,2-丙二基、2-甲基-1,3-丙二基、1,3-丁二基、1,4-丁二基、1,5-戊二基、1,6-己二基、1,4-环己二基、1,7-庚二基、1,8-辛二基、1,9-壬二基和1,10-癸二基,或具有6到10个碳原子的芳香族二价烃基团,选自1,3-苯二基、1,4-苯二基、2-甲基-1,4-苯二基、3-甲基-1,4-苯二基、2,5-二甲基-1,4-苯二基、1,4-萘二基、2,6-萘二基、2,7-萘二基、4-乙基苯-1,2-二基和4-丙基苯-1,3-二基,
R1是具有1至3个碳原子的单价烃基团,
R2代表具有1至3个碳原子的单价烃基团、乙酰基、丙酰基或者氢原子,以及
n是1至3的整数。
2.根据权利要求1所述的用于金属电极的表面改性剂,其中通式(1)中的X是单键。
3.一种通过用用于金属电极的表面改性剂涂覆金属电极形成的经表面改性的金属电极,所述表面改性剂包含由根据权利要求1的通式(1)代表的活性甲硅烷基化合物。
4.根据权利要求3所述的经表面改性的金属电极,其中所述金属电极是一种表面改性之前具有4.0eV以上功函数的金属。
5.根据权利要求4所述的经表面改性的金属电极,其中所述金属电极选自由金、银、铜、铁、铅、锌、镍、铂、铝、银铟合金和铝锌合金构成的组。
6.一种经表面改性的金属电极的生产方法,包括以下步骤:
将包含由根据权利要求1的通式(1)代表的活性甲硅烷基化合物的用于金属电极的表面改性剂与所述金属电极的表面接触,并且
由此获得经表面改性的金属电极,
其中所述经表面改性的金属电极的表面功函数比所述接触步骤之前的所述金属电极的表面功函数大0.2eV以上。
7.根据权利要求6所述的经表面改性的金属电极的生产方法,其中所述接触步骤是使用气相接触方法进行的,其中所述金属电极的表面暴露于气化的所述表面改性剂的气氛中。
8.根据权利要求6所述的经表面改性的金属电极的生产方法,其中所述接触步骤是使用液相方法进行的,其中所述金属电极浸入到液态表面改性剂中。
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