[发明专利]加工装置

权利要求书

1.一种加工装置，其形成将通过间隔道划分而在正面上形成有多个器件的晶片分割成各个器件的加工槽，其中，该加工装置至少具有：

保持单元，其对晶片进行保持；

加工单元，其在该保持单元所保持的晶片的间隔道形成加工槽；

X轴进给单元，其使该保持单元和该加工单元在X轴方向上相对地进行加工进给；

Y轴进给单元，其使该保持单元和该加工单元在与X轴方向垂直的Y轴方向上相对地进行分度进给；

拍摄单元，其具备具有基准线的显微镜，该显微镜对该保持单元所保持的晶片进行拍摄，从而检测间隔道和加工槽；以及

显示单元，

在该显示单元上显示有：

图像显示部，其显示该拍摄单元所拍摄的图像；

间隔道校正按钮，其用于将间隔道与该基准线的偏移量作为校正值来进行存储；

加工槽校正按钮，其用于将加工槽与该基准线的偏移量作为校正值来进行存储；

Y轴动作部，其使该Y轴进给单元进行动作；

一对可动线，它们隔着该基准线保持线对称，与该基准线接近和远离；以及

可动线动作部，其使该一对可动线进行动作，

当在该一对可动线的间隔未被设定成识别为间隔道的宽度的间隔的情况下触摸该间隔道校正按钮时，报知错误，

当在该一对可动线的间隔未被设定成识别为加工槽的宽度的间隔的情况下触摸该加工槽校正按钮时，报知错误。

2.根据权利要求1所述的加工装置，其中，

当在使该Y轴动作部进行动作而使显示于该图像显示部的间隔道的位置移动至该基准线并且使该可动线动作部进行动作而使该一对可动线与间隔道的宽度一致的情况下触摸该间隔道校正按钮时，将间隔道的移动距离作为间隔道的校正值来进行存储，

当在使该Y轴动作部进行动作而使显示于该图像显示部的加工槽的位置移动至该基准线并且使该可动线动作部进行动作而使该一对可动线与加工槽的宽度一致的情况下触摸该加工槽校正按钮时，将加工槽的移动距离作为加工槽的校正值来进行存储。

3.根据权利要求1所述的加工装置，其中，

该加工单元是具有切削刀具的切削单元并且该切削刀具能够旋转，该加工槽是切削槽。