[发明专利]废旧石墨坩埚的回收利用和高纯碳粉在审
| 申请号： | 201910118294.0 | 申请日： | 2019-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN109775700A | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 靳婉琪;耶夫亨·布乐琴科;王震 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/215 | 分类号： | C01B32/215 |
| 代理公司： | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 | 代理人： | 吴绍群 |
| 地址： | 250100 山东省济南市高新区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石墨坩埚 高纯碳 回收利用 制备 半导体材料领域 半导体级 高温使用 粒度分布 碳化硅粉 低碳 可用 酸洗 申请 破碎 节能 环保 | ||
1.一种废旧石墨坩埚的回收利用方法，其特征在于，该方法包括将废旧石墨坩埚破碎、筛分、酸洗、水洗和干燥后，制得高纯碳粉。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括将制备得到的高纯碳粉用于制备第一碳化物的步骤；
优选的，所述高纯碳粉包含第一碳化物和碳元素；
优选地，所述第一碳化物为碳化硅。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述筛分后的粒径为100μm-1000μm；
优选地，所述筛分使用的筛网为非金属材质；更优选地，所述筛分使用的筛网为尼龙材质。
4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述酸洗使用的酸洗液包括盐酸和氢氟酸；
优选地，所述酸洗液包括体积比为0.8-1.2:1:30-50的盐酸、氢氟酸和水，所述盐酸的浓度为5％-20％，所述氢氟酸的浓度为30％-50％；
更优选地，所述酸洗液包括体积比为1:1:30-50的盐酸、氢氟酸和水，所述盐酸的浓度为5％-20％，所述氢氟酸的浓度为30％-50％。
5.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述水洗和/或酸洗在超声条件下进行；
优选地，所述酸洗的时间为1-2h。
6.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，还包括在干燥后进行高温提纯的步骤；
优选地，所述高温提纯的条件包括：在温度1800-2500℃和真空度不大于10-3Pa下，加热至少8h；
更优选地，所述高温提纯的条件包括：在温度2000-2300℃和真空度10-3Pa下，加热8-15h。
7.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，还包括在破碎之前对所述废旧石墨坩埚超声水洗、烘干，所述超声水洗的时间为至少15min。
8.一种高纯碳粉的制备方法，其特征在于，该制备方法包括利用权利要求1-7中任一项所述方法制备高纯碳粉。
9.一种高纯碳粉，其特征在于，所述高纯碳粉由权利要求1-7任一项所述的方法制备得到；
优选地，所述高纯碳粉的杂质含量低于10ppm或，所述高纯碳粉中除所述第一碳化物外的杂质含量低于10ppm。
10.一种高纯碳粉在制备第一碳化物方面的应用，其特征在于，所述高纯碳粉选自权利要求9所述的高纯碳粉；
优选地，所述第一碳化物为碳化硅。
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