[发明专利]烧蚀点精确定位的激光诱导击穿光谱检测系统及方法

说明书

本发明公开了烧蚀点精确定位的激光诱导击穿光谱检测系统及方法，系统包括：脉冲激光器发出的光束照射到光束转折器的反射面上；半导体激光器发出的光束照射到二向色镜的第一受光面上；第一受光面平行于光束转折器的反射面；光束转折器将脉冲激光器发出的光束反射到二向色镜的第二受光面上；二向色镜将光束照射在移动平台上的待测样品表面；所述成像装置与微处理器连接，且正对于被光束转折器偏转的光束在待测样品表面形成的光斑设置；所述微处理器分别与所述成像装置、所述移动平台以及所述光谱仪分别电性连接。应用本发明实施例，可以提高检测结果的准确性。

技术领域

本发明涉及一种检测方法及装置，更具体涉及烧蚀点精确定位的激光诱导击穿光谱检测系统及方法。

背景技术

随着现代检测技术的发展，激光诱导击穿光谱检测技术作为是一种新型光谱检测技术得到了广泛的发展。

激光诱导击穿光谱检测技术可对固体、液体、气体等材料进行多元素、远距离在线快速实时分析，且不需要复杂的样品制备，对样品表面损害小，可以一次性获得整个样品组成元素的定性与定量信息。

但是，当采用激光诱导击穿待测样品时，如果待测样品表面高低不平就会使激光聚焦在待测样品表面光斑的大小不一，进而导致在待测样品聚焦样品能量密度不同，激光的聚焦位置不一致，从而严重影响等离子体光谱信号稳定性，导致检测结果不够准确。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于提供了烧蚀点精确定位的激光诱导击穿光谱检测系统及方法，以解决现有技术中存在的检测结果不够准确的问题。

本发明是通过以下技术方案解决上述技术问题的：

本发明提供了烧蚀点精确定位的激光诱导击穿光谱检测系统，所述系统包括：脉冲激光器、半导体激光器、光束转折器、二向色镜、成像装置、微处理器、移动平台以及光谱仪，其中，

所述脉冲激光器发出的光束照射到所述光束转折器的反射面上；

所述半导体激光器发出的光束照射到所述二向色镜的第一受光面上；第一受光面平行于所述光束转折器的反射面；所述二向色镜的第二受光面与所述第一受光面平行，且所述第二受光面位于所述光束转折器的反射面反射的激光束的光路上，所述光束转折器将所述脉冲激光器发出的光束反射到所述二向色镜的第二受光面上；

所述二向色镜将所述脉冲激光器发出的光束与所述半导体激光器发出的光束共线，并将所述脉冲激光器发出的光束以及所述半导体激光器发出的光束照射在所述移动平台上的待测样品表面相同位置；

所述成像装置与微处理器连接，且正对于被光束转折器偏转的光束在待测样品表面形成的光斑；

所述微处理器分别与所述成像装置、所述移动平台以及所述光谱仪分别电性连接。

可选的，所述系统还包括：信号发生器，且所述信号发生器分别与所述脉冲激光器、所述光谱仪、所述成像装置以及所述微处理器电性连接。

可选的，所述光谱仪包括：分光部件、探测器、光纤与光谱收集器，其中，所述光谱收集器通过所述光纤与所述分光部件连接；

所述分光部件与所述探测器连接；

所述探测器分别与所述信号发生器以及所述微处理器电性连接，所述信号发生器控制所述探测器的采集延时。

可选的，所述脉冲激光器发出的光束照射到所述光束转折器的反射面的光路上还设有脉冲激光准直器。

可选的，所述半导体激光器发出的光束照射到所述二向色镜的第一受光面的光路上还设有激光准直器。

可选的，共线后的光束的光路上还设有消色差聚焦装置。

可选的，所述移动平台为三维移动平台。