[发明专利]一种热场供热稳定的单晶炉

权利要求书

1.一种热场供热稳定的单晶炉，包括加热系统、水冷却系统和隔离系统，加热系统包括用于加热的加热圈(27)，所述加热圈(27)的内圈活动套装有在初始状态下等高的石英坩埚(51)，所述加热圈(27)的高度与石英坩埚(51)的高度值相同，所述石英坩埚(51)底面的中部固定安装有用于隔热的隔热轴承座(52)；

其特征在于：水冷却系统包括用于加热炉(2)外壳冷却的内壁壳(21)，所述加热炉(2)的顶部固定安装有顶炉(26)，所述内壁壳(21)的外部包裹有外壁壳(22)，所述内壁壳(21)和外壁壳(22)之间填充有水层(23)，所述外壁壳(22)右侧面的顶部固定安装有与水层(23)相互连通的出水管(24)，所述外壁壳(22)左侧面的底部固定安装有与水层(23)相互连通的进水管(25)，所述加热炉(2)的底部固定安装有基座箱(1)，所述基座箱(1)底面的左右两端均固定安装有支撑腿(11)，两个所述支撑腿(11)之间固定安装有支撑台(3)，所述支撑台(3)的中部固定安装有引水管，引水管的顶部固定安装有水箱，且水箱的外部固定套装有连接件(31)，所述连接件(31)的右侧面固定安装有埚转电机(32)，引水管的底部贯穿支撑台(3)分别开设有进水口(34)和出水口(35)，所述连接件(31)的左侧面固定安装有导轨座(33)，所述导轨座(33)的底部与支撑台(3)的顶面固定连接，所述导轨座(33)的顶面与基座箱(1)的底面固定连接，水箱顶面的左右两端均固定安装有导水管(36)；

隔离系统包括隔离箱(4)，所述导水管(36)的顶部延伸至隔离箱(4)的内腔并固定连通有软管(49)，所述软管(49)的顶部固定连通有延伸杆(48)，所述延伸杆(48)延伸至隔离箱(4)的外部并固定连通有水冷却法兰(5)，所述水冷却法兰(5)的外部与内壁壳(21)底面的中部固定连接，水箱的顶部固定安装有位于两个导水管(36)之间的稳定套杆(37)，所述稳定套杆(37)的顶部活动套装有轴杆(43)，所述轴杆(43)的顶部依次贯穿隔离箱(4)和水冷却法兰(5)并与隔热轴承座(52)底面的中部固定连接，所述隔离箱(4)内腔的左右两侧面均固定安装有侧座(41)，所述轴杆(43)的外部固定套装有与位于隔离箱(4)内腔的稳定轴承(44)，所述稳定轴承(44)的左右两侧面均固定安装有连接杆(45)，所述连接杆(45)的另一端活动安装有转轴(46)，所述转轴(46)的两端固定安装有位于侧座(41)正反两侧的限位板(47)，所述软管(49)位于转轴(46)和侧座(41)之间，所述侧座(41)靠近转轴(46)的侧面开设有限位槽(42)，所述侧座(41)的正面呈梯形状，所述转轴(46)位于初始状态时与侧座(41)侧面的距离和软管(49)的直径值相同，所述转轴(46)位于最终状态时与侧座(41)侧面的距离和软管(49)压缩阻流状态的厚度值相同。

2.根据权利要求1所述的一种热场供热稳定的单晶炉，其特征在于：所述水冷却法兰(5)的顶部位于加热炉(2)的内部，所述水冷却法兰(5)的底部位于水层(23)的内部。

3.根据权利要求1所述的一种热场供热稳定的单晶炉，其特征在于：所述限位槽(42)的形状与轴杆(43)处于压缩状态下的形状相适配。

4.根据权利要求1所述的一种热场供热稳定的单晶炉，其特征在于：所述限位槽(42)的数量为三个，三个所述限位槽(42)紧密分布在侧座(41)的侧面，且三个所述限位槽(42)的长度和与侧座(41)的长度一致。