[发明专利]一种碲化镉薄膜太阳能电池及其优化后处理方法有效
申请号: | 201910125232.2 | 申请日: | 2019-02-20 |
公开(公告)号: | CN109817751B | 公开(公告)日: | 2021-07-06 |
发明(设计)人: | 彭寿;马立云;潘锦功;傅干华;邬小凤 | 申请(专利权)人: | 成都中建材光电材料有限公司 |
主分类号: | H01L31/072 | 分类号: | H01L31/072;H01L31/0336;H01L31/18 |
代理公司: | 成都市集智汇华知识产权代理事务所(普通合伙) 51237 | 代理人: | 李华;温黎娟 |
地址: | 610000 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 碲化镉 薄膜 太阳能电池 及其 优化 处理 方法 | ||
1.一种碲化镉薄膜太阳能电池的优化后处理方法,其特征在于:碲化镉薄膜太阳能电池包括依次设置的FTO玻璃层、CdS层、CdTe层、活化层、铜金属层、钼层;所述活化层包括MgCl2和Ga2(SO4)3;
优化后处理方法包括如下步骤:
S1选择FTO玻璃作为基底材料;
S2在FTO玻璃上沉积CdS层;
S3在CdS层上沉积CdTe层;
S4在所述CdTe层上涂覆活化层;
S5活化层退火处理;
S6在所述活化层上涂覆铜;
S7进行背电极的沉积;
S8进行封装;
所述活化层为0.1-0.3mol/L的MgCl2和0.03-0.06mol/L的Ga2(SO4)3,再加入HCl或者H2SO4调节pH值到1.5-2.5的混合溶液。
2.根据权利要求1所述的碲化镉薄膜太阳能电池的优化后处理方法,其特征在于:所述FTO玻璃透过率大于80%;用丙酮、去离子水清洗。
3.根据权利要求1所述的碲化镉薄膜太阳能电池的优化后处理方法,其特征在于:所述步骤S2中将FTO玻璃导电面面向蒸发源,距离为2mm,FTO玻璃加热到500-550℃,硫化镉粉末加热温度为500-600℃,通过蒸发时间控制薄膜厚度为100-150nm。
4.根据权利要求1所述的碲化镉薄膜太阳能电池的优化后处理方法,其特征在于:所述步骤S3中在硫化镉层上沉积吸收层碲化镉,基底与蒸发源距离为10mm,基底温度保持在500-550℃,碲镉粉末加热温度为550-650℃,其中碲化镉沉积腔室压力为1000Pa,通过蒸发时间控制薄膜厚度为2.5-3um。
5.根据权利要求1所述的碲化镉薄膜太阳能电池的优化后处理方法,其特征在于:所述步骤S4中将0.1-0.3mol/L的MgCl2和0.03-0.06mol/L的Ga2(SO4)3搅拌60min配成均匀混合溶液,加入HCl或者H2SO4调节混合溶液的PH值为1.5-2.5,将配置好的溶液均匀滚涂到CdTe层表面,滚涂温度为50-70℃。
6.根据权利要求1所述的碲化镉薄膜太阳能电池的优化后处理方法,其特征在于:所述步骤S5中活化层退火处理为将MgCl2和Ga2(SO4)3的混合溶液涂覆后干燥,在大气条件下400-450℃退火20-30min。
7.根据权利要求1所述的碲化镉薄膜太阳能电池的优化后处理方法,其特征在于:还包括步骤S51,将退火处理后的样品在H2SO4和K2Gr2O7进行酸刻蚀,NaOH和Na2S2O3溶液中进行碱刻蚀,分别酸刻蚀2S,碱刻蚀2min。
8.根据权利要求7所述的碲化镉薄膜太阳能电池的优化后处理方法,其特征在于:所述步骤S6为对刻蚀后样品进行铜扩散处理。
9.根据权利要求7所述的碲化镉薄膜太阳能电池的优化后处理方法,其特征在于:所述步骤S7为采用磁控溅射法进行钼电极的制备,50W/cm功率下制备80-120nm厚的钼层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的