[发明专利]一种碲化镉薄膜太阳能电池及其优化后处理方法有效

专利信息
申请号: 201910125232.2 申请日: 2019-02-20
公开(公告)号: CN109817751B 公开(公告)日: 2021-07-06
发明(设计)人: 彭寿;马立云;潘锦功;傅干华;邬小凤 申请(专利权)人: 成都中建材光电材料有限公司
主分类号: H01L31/072 分类号: H01L31/072;H01L31/0336;H01L31/18
代理公司: 成都市集智汇华知识产权代理事务所(普通合伙) 51237 代理人: 李华;温黎娟
地址: 610000 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 碲化镉 薄膜 太阳能电池 及其 优化 处理 方法
【权利要求书】:

1.一种碲化镉薄膜太阳能电池的优化后处理方法,其特征在于:碲化镉薄膜太阳能电池包括依次设置的FTO玻璃层、CdS层、CdTe层、活化层、铜金属层、钼层;所述活化层包括MgCl2和Ga2(SO4)3

优化后处理方法包括如下步骤:

S1选择FTO玻璃作为基底材料;

S2在FTO玻璃上沉积CdS层;

S3在CdS层上沉积CdTe层;

S4在所述CdTe层上涂覆活化层;

S5活化层退火处理;

S6在所述活化层上涂覆铜;

S7进行背电极的沉积;

S8进行封装;

所述活化层为0.1-0.3mol/L的MgCl2和0.03-0.06mol/L的Ga2(SO4)3,再加入HCl或者H2SO4调节pH值到1.5-2.5的混合溶液。

2.根据权利要求1所述的碲化镉薄膜太阳能电池的优化后处理方法,其特征在于:所述FTO玻璃透过率大于80%;用丙酮、去离子水清洗。

3.根据权利要求1所述的碲化镉薄膜太阳能电池的优化后处理方法,其特征在于:所述步骤S2中将FTO玻璃导电面面向蒸发源,距离为2mm,FTO玻璃加热到500-550℃,硫化镉粉末加热温度为500-600℃,通过蒸发时间控制薄膜厚度为100-150nm。

4.根据权利要求1所述的碲化镉薄膜太阳能电池的优化后处理方法,其特征在于:所述步骤S3中在硫化镉层上沉积吸收层碲化镉,基底与蒸发源距离为10mm,基底温度保持在500-550℃,碲镉粉末加热温度为550-650℃,其中碲化镉沉积腔室压力为1000Pa,通过蒸发时间控制薄膜厚度为2.5-3um。

5.根据权利要求1所述的碲化镉薄膜太阳能电池的优化后处理方法,其特征在于:所述步骤S4中将0.1-0.3mol/L的MgCl2和0.03-0.06mol/L的Ga2(SO4)3搅拌60min配成均匀混合溶液,加入HCl或者H2SO4调节混合溶液的PH值为1.5-2.5,将配置好的溶液均匀滚涂到CdTe层表面,滚涂温度为50-70℃。

6.根据权利要求1所述的碲化镉薄膜太阳能电池的优化后处理方法,其特征在于:所述步骤S5中活化层退火处理为将MgCl2和Ga2(SO4)3的混合溶液涂覆后干燥,在大气条件下400-450℃退火20-30min。

7.根据权利要求1所述的碲化镉薄膜太阳能电池的优化后处理方法,其特征在于:还包括步骤S51,将退火处理后的样品在H2SO4和K2Gr2O7进行酸刻蚀,NaOH和Na2S2O3溶液中进行碱刻蚀,分别酸刻蚀2S,碱刻蚀2min。

8.根据权利要求7所述的碲化镉薄膜太阳能电池的优化后处理方法,其特征在于:所述步骤S6为对刻蚀后样品进行铜扩散处理。

9.根据权利要求7所述的碲化镉薄膜太阳能电池的优化后处理方法,其特征在于:所述步骤S7为采用磁控溅射法进行钼电极的制备,50W/cm功率下制备80-120nm厚的钼层。

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