[发明专利]一种磁流体端头及磁控溅射靶

权利要求书

1.一种磁流体端头，应用于磁控溅射靶，包括外壳(1)、以及设置于所述外壳内的磁流体组件，其特征在于，

还包括：

空心轴组件，所述空心轴组件设置于所述外壳内，并且进一步包括：内空心轴(22)和外空心轴(21)；所述内空心轴，内接于所述外空心轴中，用于连接溅射靶头；

其中，所述磁流体组件设置于所述外壳和所述外空心轴之间，所述外空心轴能够将所述磁流体组件与所述内空心轴隔离；

所述内空心轴与所述溅射靶头连接的一端从所述外壳中伸出；

还包括用于对所述内空心轴进行绝缘的绝缘组件；

所述绝缘组件包括：设置于所述外空心轴的内壁和内空心轴外壁之间的绝缘层(33)、设置于所述内空心轴的伸出端与所述外空心轴的端面之间的绝缘垫(32)、以及设置于所述内空心轴的伸出端与所述外壳的端面之间的绝缘体(31)；

还包括供电组件，所述供电组件设置于所述内空心轴上，包括碳刷以及与碳刷连接的导电环，所述碳刷与外部电源连接，所述导电环与所述内空心轴接触连接；

所述供电组件设置于所述内空心轴与所述溅射靶头连接一端的相对端，

所述绝缘组件还包括：绝缘环(34)、绝缘套(35)和绝缘外壳(36)；

所述绝缘环(34)，设置于所述供电组件与所述外空心轴之间，用于支撑所述绝缘层和隔离所述供电组件和所述外空心轴；

所述绝缘外壳(36)，设置于所述供电组件外部，并与所述外壳的端面接触，用于隔离所述供电组件和所述外壳；

所述绝缘套(35)，设置于所述供电组件和所述绝缘外壳之间，用于隔离碳刷，降低漏电风险。

2.根据权利要求1所述的磁流体端头，其特征在于，

还包括内接于所述内空心轴内的转接管(9)，所述转接管用于连接所述溅射靶头的靶头，转接管的内部空腔与所述溅射靶头的冷却结构连通。

3.根据权利要求1所述的磁流体端头，其特征在于，

所述磁流体组件包括有极靴(11)、极齿(13)和永磁铁(12)，

所述极靴套设于外空心轴上，所述极齿设置于极靴与外空心轴之间；

所述极靴的内壁上设有凹槽，所述永磁铁设置于所述凹槽内；

所述极齿的间隙内填充有磁性液体。

4.根据权利要求3所述的磁流体端头，其特征在于，

所述外空心轴采用可导磁材料制成，所述磁性液体采用纳米级的四氧化三铁颗粒制成，所述极靴和外壳之间设有一个或多个第八密封圈(58)。

5.一种磁控溅射靶，其特征在于，

包括权利要求1-4任一项所述的磁流体端头、溅射靶头和运动机构；

所述溅射靶头，与所述磁流体端头可拆卸连接，用于提供磁控溅射磁场和靶材；

所述运动机构，与所述磁流体端头可拆卸连接，用于为所述磁流体端头提供旋转动力。

6.根据权利要求5所述的磁控溅射靶，其特征在于，

所述运动机构包括同步轮(88)，所述同步轮与所述内空心轴连接，用于带动所述内空心轴转动。