[发明专利]一种气相沉积设备的送料机构

说明书

一种气相沉积设备的送料机构，包括：升降器、横移器和旋转器，所述横移器设置在所述升降器上，所述旋转器设置在所述横移器上，旋转器包括：旋转支架、定位盘、旋转座、伸缩杆、旋转电机、转盘和卡爪，定位盘位于旋转支架上，旋转座与定位盘通过伸缩杆连接，旋转电机位于旋转座上，旋转电机与转盘形成转动连接，多个卡爪固定在转盘的下表面。上述送料机构在靶棒的气相材料沉积过程中，能实现靶棒的升降运动以及转动，大大地提高了材料的均匀性。

技术领域

本发明涉及光纤预制棒制造领域，尤其是涉及一种气相沉积设备的送料机构。

背景技术

光纤预制棒是具有特定折射率剖面并用于制造光导纤维(简称光纤)的石英玻璃棒。预制棒一般直径为几毫米至几十毫米(俗称光棒)。光纤的内部结构就是在预制棒中形成的。因为预制棒的制作是光纤工艺中最重要的部分，所以从20世纪70年代末期开始规模生产光纤以来，对光纤预制棒制造技术的研究和完善改进就从来没有间断过。

在光纤预制棒的制造过程中，其外包层常常采用OVD法制备，OVD法具有效率高、灵活性强、经济效益好等优点。如：中国专利CN107188404公开的一种使用有机硅制备高质量光纤预制棒的方法，该方法通过控制喷灯和芯棒的相对移动速度、喷灯与芯棒的相对旋转速度、燃气与氧气的比例、有机硅载气比例和箱体内风速，最终优化OVD沉积第一层的反应温度，从而使得芯棒上第一层SiO2沉积物的粒径大小介于20nm～200nm、且粒径分布均匀，获得烧结后光棒界面质量好的光纤预制棒。

为了克服传统光纤预制棒OVD沉积制备装置沉积效率和速率不高的问题，中国专利CN204644158公开了一种多喷灯的疏松体光纤预制棒OVD沉积制备装置，该制备装置通过多喷灯来提高疏松体光纤预制棒制备沉积速率和效率高，并能使疏松体光纤预制棒的直径的均匀性好，能保证产品内部晶格结构的单一性。

然而，上述制备装置虽然采用了层流板来提高沉积的均匀性，但是其沉积支架并不能运动，导致只能对靶棒进行静态沉积，喷出的气体集中在与喷灯正对的位置，限制了均匀性的进一步改善。

发明内容

本发明技术方案是针对上述情况的，为了解决上述问题而提供一种气相沉积设备的送料机构，所述送料机构包括：升降器、横移器和旋转器，所述横移器设置在所述升降器上，所述旋转器设置在所述横移器上，所述旋转器包括：旋转支架、定位盘、旋转座、伸缩杆、旋转电机、转盘和卡爪，所述定位盘位于所述旋转支架上，所述旋转座与所述定位盘通过所述伸缩杆连接，所述旋转电机位于所述旋转座上，所述旋转电机与所述转盘形成转动连接，所述卡爪为多个，多个卡爪固定在所述转盘的下表面。

进一步，所述升降器包括：升降支架、升降电机、升降丝杆、升降丝杠座和升降螺母，所述升降支架位于顶部平台上，所述升降电机固定在所述升降支架上，所述升降丝杆通过所述升降丝杠座固定在所述升降支架上，所述升降电机与所述升降丝杆形成转动连接，所述升降螺母与所述升降丝杆啮合，所述升降螺母与所述横移器形成固定。

进一步，所述升降器还包括：升降导轨、升降滑块和升降拖链，所述升降滑块位于所述升降导轨上，所述升降导轨与所述升降丝杆相互平行，所述升降滑块与所述横移器形成固定，所述升降拖链的一端固定在所述升降支架上，另一端固定在所述横移器上。

进一步，所述升降器还包括：两个升降行程开关和升降传感器，一个升降行程开关位于所述升降支架的上端，另一个升降行程开关位于所述升降支架的下端，所述升降传感器位于两个升降行程开关之间。

进一步，所述横移器包括：横移板、横移电机、横移丝杆、横移丝杠座和横移螺母，所述横移电机固定在所述横移板上，所述横移丝杆通过所述横移丝杠座固定在所述横移板上，所述横移电机与所述横移丝杆形成转动连接，所述横移螺母与所述横移丝杆啮合，所述横移螺母与所述旋转器形成固定。