[发明专利]掩膜板支撑机构、对位装置、对位方法

说明书

本发明提供一种掩膜板支撑机构，用于支撑掩膜板，所述掩膜板支撑机构包括：基底和设置在基底上的多个具有伸缩性的支撑结构，每个所述支撑结构具有最大高度和最小高度，且处于最大高度的所述支撑结构能够在压力作用下被压缩至最小高度；每个支撑结构的最小高度相同；对于任意两个支撑结构，离所述基底中心较远的支撑结构的最大高度不大于离所述基底中心较近的支撑结构的最大高度。相应地，本发明还提供一种对位装置及对位方法。本发明能够提高待蒸镀的基板与掩膜板的对位精度。

技术领域

本发明涉及显示设备的生产制作领域，具体涉及一种掩膜板支撑机构、对位装置、对位方法。

背景技术

近年来，有机电致发光(Organic Light Emitting Diode，OLED)显示装置因具有自发光、广视角、响应快、功耗低以及可柔性显示等优点而广泛应用在显示领域中。

OLED器件的发光功能层通常采用蒸镀工艺形成，而目前在蒸镀工艺中，由于掩膜板和待蒸镀的基板具有一定的柔性和较大的重力，因此会导致掩膜板和待蒸镀的基板在对位过程中会出现中部下垂，从而降低对位精度，进而导致蒸镀效果较差。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种掩膜板支撑机构、对位装置、对位方法。

为了实现上述目的，本发明提供一种掩膜板支撑机构，用于支撑掩膜板，所述掩膜板支撑机构包括：基底和设置在基底上的多个具有伸缩性的支撑结构，每个所述支撑结构具有最大高度和最小高度，且处于最大高度的所述支撑结构能够在压力作用下被压缩至最小高度；每个支撑结构的最小高度相同；

对于任意两个支撑结构，离所述基底中心较远的支撑结构的最大高度不大于离所述基底中心较近的支撑结构的最大高度。

可选地，所述支撑结构的最大高度随所述支撑结构到所述基底中心的距离的增大而减小。

可选地，所述支撑结构包括：壳体、支撑柱和弹性件，

所述壳体设置在所述基底上，所述壳体的顶部设置有开口；

所述弹性件设置在所述壳体内，所述弹性件的一端与所述基底的底壁相连，另一端与所述支撑柱相连；

所述支撑结构在未受到压力的状态下，所述支撑柱的一部分从所述壳体的开口伸出，且所述支撑结构达到最大高度；所述支撑柱能够在压力作用下被压缩至所述壳体中；

每个支撑结构的壳体的高度相同。

可选地，所述支撑柱包括相连的支撑部和限位部，所述限位部与所述弹性件相连，所述支撑部的一部分从所述开口伸出所述壳体，所述限位部在所述壳体底壁上的正投影超出所述开口在所述壳体底壁上的正投影。

可选地，所述支撑部采用弹性材料制成。

可选地，所述弹性件包括弹簧。

可选地，所述掩膜板包括多个掩膜条，所述掩膜板支撑结构包括与所述掩膜条一一对应的承载条，所述支撑结构设置在承载条上，用于对所述掩膜板的掩膜条进行支撑。

相应地，本发明还提供一种对位装置，用于将待蒸镀的基板与掩膜板进行对位；包括磁隔板、接触板和上述掩膜板支撑机构，所述磁隔板设置在所述接触板上方。

可选地，所述对位装置还包括：第一固定结构和第二固定结构，所述第一固定结构用于将待蒸镀的基板固定在所述接触板背离所述磁隔板的一侧；所述第二固定结构用于将掩膜板固定在所述待蒸镀的基板的背离所述接触板的一侧。

相应地，本发明还提供一种利用上述对位装置的对位方法，包括：

将待蒸镀的基板和掩膜板固定在所述接触板下方，并对所述待蒸镀的基板和掩膜板进行初对位；其中，所述掩膜板位于待蒸镀的基板下方；