[发明专利]一种锥状开口的FMM电铸母板制作方法在审
| 申请号： | 201910126607.7 | 申请日： | 2019-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN109898104A | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 简旭宏;黄俊铭 | 申请（专利权）人： | 合肥永淇智材科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D1/10 | 分类号： | C25D1/10;C25D1/08;C23F1/02;C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 娄岳 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 大开口端 小开口端 电铸母板 曝光对位 湿膜涂布 蚀刻制程 锥状开口 控制光 掩模板 喷涂 显影 成型 孔洞 锥形开口 掩膜板 电铸 填满 制作 开口 贯穿 | ||
1.一种锥状开口的FMM电铸母板制作方法，其特征在于，包括：
提供一黄光成品的黄光母板；
翻铸得到电铸成品的掩模板，电铸厚度低于黄光干膜厚度，并形成孔洞；
将所述掩模板进行双面湿膜涂布或喷涂光阻，并填满该掩膜板孔洞；
通过曝光对位后，通过光阻成型、显影得到大开口端；
使用蚀刻制程贯穿所述大开口端，形成所需要的小开口端，所述大开口端和小开口端构成FMM的开口；
除膜后得到成品。
2.根据权利要求1所述的FMM电铸母板制作方法，其特征在于，所述方法中，控制蚀刻的速率为0.5～1m/s，蚀刻的喷压为0.2～1.2kg/cm2。
3.根据权利要求1所述的FMM电铸母板制作方法，其特征在于，所述方法中，曝光对位的具体方法包括：使用光罩对位曝光，该光罩上设置有对位点，能够与掩模板上的对位孔进行自动对位，对位曝光机控制光罩对准孔位误差值小于0.5um进行曝光成形，将曝光后的掩模板进行显影，完成曝光显影后的掩模板。
4.根据权利要求3所述的FMM电铸母板制作方法，其特征在于，使用显影液的温度为28℃～35℃，速率为0.2～1m/s，喷压为0.2～0.8kg/cm2。
5.根据权利要求1所述的FMM电铸母板制作方法，其特征在于，所述方法中，使用蚀刻制程贯穿大开口端，蚀刻的速率为0.5～1m/s，蚀刻的喷压为0.2～1.2kg/cm2，蚀刻的温度为38℃～48℃，所述大开口端的深度为5um～15um。
6.根据权利要求1-5任一项所述的FMM电铸母板制作方法，其特征在于，所述掩模板为因瓦合金板。
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