[发明专利]微球电接触反馈的绝缘材料工件表面对准系统及方法

权利要求书

1.一种微球电接触反馈的绝缘材料工件表面对准系统，其特征在于，包括：微细工具电极、绝缘液体、导电微球、导电液体和电接触反馈系统，其中，

所述微细工具电极作为涂覆或蘸上第一预设容积的所述绝缘液体和所述导电微球的载体；

所述绝缘液体用于所述微细工具电极粘附所述导电微球并实现自动对准中心；

所述导电微球用于实现接触绝缘材料工件时上移，导通所述导电液体和所述微细工具电极产生电接触信号；

所述导电液体连接电源一极，并与所述导电微球、所述微细工具电极产生电接触信号；以及

所述电接触反馈系统用于检测到所述电接触信号时记录接触点当前位置，并发出Z轴停止进给运动指令，其中，所述Z轴为所述微细工具电极轴向方向。

2.根据权利要求1所述的微球电接触反馈的绝缘材料工件表面对准系统，其特征在于，所述微细工具电极端部为平面，且平行于所述绝缘材料工件表面。

3.根据权利要求1所述的微球电接触反馈的绝缘材料工件表面对准系统，其特征在于，在绝缘材料工件表面涂覆第二预设容积的导电液体层厚小于所述导电微球半径。

4.根据权利要求1所述的微球电接触反馈的绝缘材料工件表面对准系统，其特征在于，在吸附导电微球后，在所述导电微球与所述微细工具电极底面平面之间间隙内充满第一预设容积的所述绝缘液体。

5.根据权利要求1所述的微球电接触反馈的绝缘材料工件表面对准系统，其特征在于，所述电接触信号为短路信号。

6.根据权利要求1所述的微球电接触反馈的绝缘材料工件表面对准系统，其特征在于，所述接触点当前位置为所述微细工具电极的轴向当前位置。

7.一种微球电接触反馈的绝缘材料工件表面对准方法，其特征在于，执行如权利要求1-6任一项所述的对准系统，其中，所述方法包括以下步骤：

在微细工具电极端部涂覆或蘸上第一预设容积的绝缘液体；

在绝缘材料工件表面涂覆一层第二预设容积的导电液体；

利用所述微细工具电极端部绝缘液体吸附一个导电微球；

将所述微细工具电极和所述导电液体分别接电接触反馈系统的电源；

利用Z轴控制向下进给所述微细工具电极接近所述绝缘材料工件表面，当所述导电微球接触所述绝缘材料工件表面后继续进给所述微细工具电极，直到所述导电微球同时与所述绝缘材料工件、所述微细工具电极端面接触，导通所述导电液体与所述微细工具电极构成电接触反馈回路产生电接触信号，其中，所述Z轴为所述微细工具电极轴向方向；

在所述电接触反馈系统检测到所述电接触信号时，记录接触点当前位置，并停止所述微细工具电极的运动；以及

利用Z轴将所述微细工具电极运动定位到记录的所述接触点当前位置，再向下进给导电标准微球的直径距离，以实现所述微细工具电极与所述绝缘工件表面的对准。

8.根据权利要求7所述的微球电接触反馈的绝缘材料工件表面对准方法，其特征在于，在吸附导电微球后，在所述导电微球与所述微细工具电极底面平面之间间隙内充满第一预设容积的所述绝缘液体。

9.根据权利要求7所述的微球电接触反馈的绝缘材料工件表面对准方法，其特征在于，所述电接触信号为短路信号。

10.根据权利要求7所述的微球电接触反馈的绝缘材料工件表面对准方法，其特征在于，所述接触点当前位置为所述微细工具电极的轴向当前位置。