[发明专利]用于晶硅制绒的链式设备及单面倒金字塔制绒的制备方法

权利要求书

1.一种用于晶硅制绒的链式设备，其特征在于，所述链式设备包括沿晶硅的移动方向依次排列的制绒槽、分片装置、去金属槽、背抛光槽、清洗槽和烘干槽，以及用于直接传送所述晶硅的传动滚轮，所述制绒槽用于对上下叠置的两个硅片制绒，以使得每一个所述硅片的一个表面被制绒，所述分片装置用于将上下叠置的两个硅片分离并传送至所述去金属槽中，所述背抛光槽用于对分离的所述两个硅片的非制绒表面进行抛光；

所述分片装置包括：

相对设置的上吸盘和下吸盘，所述上吸盘和下吸盘分别可控地吸附所述两个硅片中的一个；

旋转电机，其旋转轴与所述下吸盘固定连接；以及

移动件，其与所述上吸盘固定连接，且用于使得所述上吸盘沿晶硅的移动方向运动；

其中，所述旋转电机的旋转轴旋转运动以驱动所述下吸盘及其吸附的硅片同时旋转运动，所述下吸盘被配置为释放其吸附的硅片且使得释放的硅片的非制绒表面的一部分位于所述传动滚轮上。

2.根据权利要求1所述的链式设备，其特征在于，所述上吸盘具有多个上气孔，所述下吸盘具有多个下气孔，所述链式设备还包括抽气装置，其用于通过所述上气孔和下气孔进行抽气。

3.根据权利要求1至2中任一项所述的链式设备，其特征在于，所述制绒槽包括沿晶硅的移动方向依次排列的制绒工艺槽和第一水槽。

4.根据权利要求3所述的链式设备，其特征在于，所述链式设备还包括温度调节装置，其用于控制所述制绒工艺槽中制绒液的温度。

5.根据权利要求3所述的链式设备，其特征在于，所述链式设备还包括制绒液浓度检测装置，其用于检测所述制绒工艺槽中制绒液的浓度；以及制绒液输送装置，其用于向所述制绒工艺槽中输送制绒液。

6.根据权利要求1至2中任一项所述的链式设备，其特征在于，所述去金属槽包括沿晶硅的移动方向依次排列的去金属工艺槽和第二水槽。

7.根据权利要求1至2中任一项所述的链式设备，其特征在于，所述背抛光槽包括沿晶硅的移动方向依次排列的背抛工艺槽和第三水槽。

8.根据权利要求3所述的链式设备，其特征在于，所述清洗槽包括沿晶硅的移动方向依次排列的清洗工艺槽和第四水槽，所述第四水槽和第一水槽相连通。

9.根据权利要求1至2中任一项所述的链式设备，其特征在于，所述链式设备还包括位于所述烘干槽中的加热器和鼓风机。

10.一种用于如权利要求1至9中任一项所述的链式设备进行单面倒金字塔制绒的制备方法，其特征在于，依次包括下列步骤：

步骤1)，将上下叠置的两个硅片放置在所述链式设备的制绒槽中，利用所述制绒槽中装的倒金字塔制绒液对所述上下叠置的两个硅片进行倒金字塔制绒，以使得每一个所述硅片的一个表面被制绒；

步骤2)，利用所述链式设备的分片装置将所述上下叠置的两个硅片分开；

步骤3)，将分开后的两个硅片传送到所述链式设备的去金属槽中，利用所述去金属槽中装的去金属混合液去除分开后的两个硅片上的金属离子；

步骤4)，将去除金属离子后的两个硅片传送到所述链式设备的背抛光槽，利用所述背抛光槽中装有的碱液对去除金属离子后的两个硅片的非制绒表面进行背抛光；

步骤5)，将背抛光后的两个硅片传送到所述链式设备的清洗槽中，利用所述清洗槽中装的清洗液对背抛光后的两个硅片进行清洗；

步骤6)，将步骤5)的两个硅片传送到所述链式设备的烘干槽中以进行干燥处理。