[发明专利]数字全息显微镜及使用其的检查方法和半导体制造方法

权利要求书

1.一种数字全息显微镜，包括：

光源，其被构造为产生和输出光；

分束器，其被构造为使得所述光入射到检查对象并且输出来自所述检查对象的反射光；和

检测器，其被构造为检测所述反射光，

其中，当所述反射光包括干涉光时所述检测器产生全息图，并且

其中，所述数字全息显微镜具有从所述光源至所述检测器的无透镜路径。

2.根据权利要求1所述的数字全息显微镜，其中，所述光源、所述分束器和所述检测器被布置为使得在所述检查对象的有缺陷的部分处衍射和反射的光和在所述检查对象的无缺陷的部分处反射的光彼此重叠，因此当在所述检查对象中有缺陷时产生所述干涉光。

3.根据权利要求1所述的数字全息显微镜，其中，所述光源包括多波长光源，

所述检测器被构造为针对每个波长产生全息图，并且

所述数字全息显微镜还包括分光计，其被构造为通过波长将所述光分离。

4.根据权利要求1所述的数字全息显微镜，其中，所述检查对象相对于所述检查对象的上表面在水平方向上移动，并且

其中，所述检测器被构造为针对所述检查对象在所述水平方向上的每个位置产生所述全息图。

5.根据权利要求1所述的数字全息显微镜，其中，所述检测器相对于所述检测器的像素表面在水平方向上移动，并且

其中，所述检测器被构造为针对所述检测器在所述水平方向上的每个位置产生全息图。

6.根据权利要求1所述的数字全息显微镜，其中，所述光在角在相对于所述检查对象的上表面的法线设置的一定范围内改变的同时入射，并且

其中，所述检测器被构造为针对所述光入射到所述检查对象的每个角度产生全息图。

7.根据权利要求1所述的数字全息显微镜，其中，所述反射光在角在相对于所述检测器的像素表面的法线设置的一定范围内改变的同时入射，并且

其中，所述检测器被构造为针对所述反射光入射到所述检测器的每个角度产生全息图。

8.根据权利要求1所述的数字全息显微镜，还包括：

重构单元，其被构造为数字化地重构所述全息图，以产生所述检查对象的图像；以及

分析和确定单元，其被构造为分析所述反射光、所述全息图或所述图像，以确定在所述检查对象中是否有缺陷。

9.根据权利要求8所述的数字全息显微镜，其中，根据光波长、所述检查对象的位置、所述检测器的位置、光入射到所述检查对象的角度、或反射光入射到所述检测器的角度产生多个全息图，并且其中所述重构单元基于所述多个全息图产生所述检查对象的合成图像。

10.一种数字全息显微镜，包括：

光源，其被构造为产生和输出光；

检测器，其被构造为当所述光垂直地入射到检查对象的上表面或者以设置的倾角入射时，检测产生的反射光；和

分析和确定单元，其被构造为分析所述反射光以确定在所述检查对象中是否有缺陷，

其中，当所述反射光包括干涉光时所述检测器产生全息图，并且所述分析和确定单元分析所述全息图，并且

其中，所述数字全息显微镜具有从所述光源至所述检测器的无透镜路径。

11.根据权利要求10所述的数字全息显微镜，其中，所述光源和所述检测器被布置为使得在所述检查对象的有缺陷的部分处衍射和反射的光和在所述检查对象的无缺陷的部分处反射的光彼此重叠，并且因此当在所述检查对象中有缺陷时产生所述干涉光。

12.根据权利要求10所述的数字全息显微镜，还包括：

分束器，

其中，所述光垂直地入射到所述检查对象的所述上表面，并且所述分束器使得所述光入射到所述检查对象并且将所述反射光输出到所述检测器。