[发明专利]喷嘴以及涂布装置有效
申请号: | 201910129149.2 | 申请日: | 2019-02-21 |
公开(公告)号: | CN109721254B | 公开(公告)日: | 2021-01-01 |
发明(设计)人: | 陈敬华;王江;刘继承;康凯 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | C03C17/00 | 分类号: | C03C17/00 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 喷嘴 以及 装置 | ||
本发明提供了一种喷嘴以及涂布装置,该喷嘴以及涂布装置包括:腔体、设置在所述腔体内的分流结构以及喷口,所述腔体用于传导涂布液,所述分流结构用于将所述涂布液均匀分布在所述腔体内,所述喷口用于将涂布液涂布在基板表面,该发明中的分流结构可以使得涂布液最终均匀涂布在基板表面,提高了产品的良品率。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及平板显示制造,具体涉及喷嘴以及涂布装置。
背景技术
目前在玻璃基板的生产制造过程中,都会利用涂布装置对基板吐液来完成基板的涂布制程。如图1所示,现有技术中,涂布装置100通过在管道101外面设置多个管路102来实现分流液体,再将管路102接到狭缝喷嘴103上进行后续的吐液。多个管路会占用较大的空间,并且涂布液从中间注入会导致两边液体流量较中间会小。
综上所述,现有的涂布装置中,存在占用空间大以及液体流量不均匀的问题。
发明内容
本发明实施例提供一种喷嘴,用于将涂布液涂布于基板表面,其中,所述喷嘴包括:
腔体,用于传导所述涂布液;
分流结构,所述分流结构设置在所述腔体内,所述分流结构用于将所述涂布液均匀分布在所述腔体内;
多个喷口,用于将所述涂布液涂布在所述基板表面。
在一实施例中,所述分流结构包括:
多个挡板,所述多个挡板交错排列于所述腔体内,水平方向上相邻的两个挡板之间形成分流口,所述涂布液通过所述分流口往所述腔体两端流动。
在一实施例中,所述腔体划分为n层,其中n为正整数,所述腔体在第n层的水平方向上划分为2n个区域,第x个区域和第(x+1)个区域之间的位置为所述腔体内在水平方向上的第x分流位置,其中x为正整数,且x不大于(2n-1);所述喷嘴包括n层分流口,第n层分流口设置于所述第(2k-1)分流位置,其中k为正整数,且不大于2n-1。
在一实施例中,所述喷嘴还包括入口,所述入口用于通入所述涂布液,所述入口连接所述腔体内第1层的第1个区域的挡板。
在一实施例中,所述挡板包括:
第一挡板,所述第一挡板用于阻挡所述涂布液;
第二挡板,所述第二挡板设置在所述第一挡板上,所述第二挡板用于承载所述涂布液。
在一实施例中,所述第二挡板的厚度小于所述第一挡板的厚度。
在一实施例中,所述第一挡板的厚度等于所述相邻的两层第二挡板之间的间隔距离。
本发明实施例还提供一种涂布装置,所述涂布装置包括喷嘴,所述喷嘴包括:
腔体,用于传导所述涂布液;
分流结构,所述分流结构设置在所述腔体内,所述分流结构用于将所述涂布液均匀分布在所述腔体内;
多个喷口,用于将所述涂布液涂布在所述基板表面。
在一实施例中,所述分流结构包括:
多个挡板,所述多个挡板分层设置于所述腔体内,水平方向上相邻的两个挡板之间形成分流口,所述涂布液通过所述分流口往所述腔体两端流动。
在一实施例中,所述腔体划分为n层,其中n为正整数,所述腔体在第n层的水平方向上划分为2n个区域,第x个区域和第(x+1)个区域之间的位置为所述腔体内在水平方向上的第x分流位置,其中x为正整数,且x不大于(2n-1);
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