[发明专利]3维测量装置、电子部件安装装置及3维测量方法

说明书

本发明提供3维测量装置、电子部件安装装置及3维测量方法，其抑制装置的大型化及成本增加。3维测量装置具有：投影装置，其将图案光射出；反射部件，其对图案光进行反射；拍摄装置，其取得被照射了第1图案光的物体的图像数据和被照射了由反射部件反射出的第2图案光的物体的图像数据；以及控制装置，其基于物体的图像数据，对物体的3维形状进行计算。

技术领域

本发明涉及3维测量装置、电子部件安装装置及3维测量方法。

背景技术

如专利文献1公开的那样，已知从多个方向对物体照射图案光，测量物体的3维形状的技术。

专利文献1：日本特开2003－202296号公报

图案光从投影装置射出。通过对从多个方向被照射了图案光的物体的图像数据进行图像处理，从而3维形状的测量精度提高。如果为了从多个方向对物体照射图案光而使投影装置的数量增加，则有可能使装置大型化而成本增加。

发明内容

本发明的方式的目的在于，抑制装置的大型化及成本增加。

按照本发明的方式，提供一种3维测量装置，其具有：投影装置，其将图案光射出；反射部件，其对图案光进行反射；拍摄装置，其取得被照射了第1图案光的物体的图像数据和被照射了由所述反射部件反射出的第2图案光的所述物体的图像数据；以及控制装置，其基于所述物体的图像数据，对所述物体的3维形状进行计算。

发明的效果

根据本发明的方式，目的在于能够抑制装置的大型化及成本增加。

附图说明

图1是表示第1实施方式所涉及的3维测量装置的一个例子的示意图。

图2是表示第1实施方式所涉及的3维测量装置的一个例子的示意图。

图3是表示第1实施方式所涉及的控制装置的一个例子的功能框图。

图4是表示第1实施方式所涉及的图案数据的一个例子的示意图。

图5是表示第1实施方式所涉及的3维测量方法的一个例子的流程图。

图6是表示第2实施方式所涉及的3维测量装置的一个例子的示意图。

图7是表示第3实施方式所涉及的电子部件安装装置的一个例子的示意图。

图8是表示第3实施方式所涉及的3维测量装置的一个例子的示意图。

标号的说明

1…3维测量装置，2…工作台，3…投影装置，4…拍摄装置，5…控制装置，6…反射部件，6A…第1反射面，6B…第2反射面，6C…第3反射面，10…电子部件安装装置，11…吸嘴，12…安装头，13…电子部件供给装置，14…基板输送装置，15…安装头驱动装置，16…吸嘴驱动装置，20…壳体，21…位置测量装置，31…光源，32…光调制元件，33…投影光学系统，33S…射出面，41…成像光学系统，41S…入射面，42…拍摄元件，51…输入输出部，52…图案生成部，53…图像数据取得部，54…相位值计算部，55…3维形状计算部，100…控制装置，331…第1区域，332…第2区域，C…电子部件，MP…安装位置，P…基板，PL…图案光，PL1…第1图案光，PL2…第2图案光，PL3…第3图案光，S…物体，SP…供给位置，T…凸起部，TP…测量位置。

具体实施方式

下面，一边参照附图，一边对本发明所涉及的实施方式进行说明，但本发明并不限定于此。下面进行说明的实施方式的结构要素能够适当组合。另外，有时不使用一部分的结构要素。