[发明专利]一种高精度的双面缺陷在线检测装置在审
申请号: | 201910130540.4 | 申请日: | 2019-02-21 |
公开(公告)号: | CN109668833A | 公开(公告)日: | 2019-04-23 |
发明(设计)人: | 武宏昌;雷国韬;张航;康忠明 | 申请(专利权)人: | 深圳精创视觉科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/892 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518109 广东省深圳市龙华区龙华*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检测模 下表面 输送模组 上表面 复检 缺陷在线检测 测量数据 缺陷检测 应用前景广阔 表面检测 测量效率 产品缺陷 待测产品 待测样品 光学检测 机架模组 检测数据 上道工序 下道工序 控制器 光学膜 金属箔 卷材 模组 省力 省时 制程 瑕疵 修正 玻璃 参考 检测 | ||
1.一种高精度的双面缺陷在线检测装置,其特征在于,包括机架模组、上表面检测模组、下表面检测模组、输送模组以及控制器,其中:
所述机架模组用于承载设置在其上的模组;
所述上表面检测模组架设在所述机架模组上方,用于对待测产品进行上表面缺陷检测;
所述下表面检测模组设置在所述机架模组下方,用于对待测产品进行下表面检测;
所述输送模组设置在所述上表面检测模组与下表面检测模组之间的机架模组上,用于对待测产品进行输送;
所述控制器分别电性连接所述上表面检测模组、下表面检测模组以及输送模组,用于对所述上表面检测模组、下表面检测模组以及输送模组的工作状态进行控制。
2.根据权利要求1所述的高精度的双面缺陷在线检测装置,其特征在于,所述上表面检测模组包括设置在所述机架模组上方的检测相机支架,所述检测相机支架上设有第一线阵相机,所述第一线阵相机下方设有第一同轴光源。
3.根据权利要求2所述的高精度的双面缺陷在线检测装置,其特征在于,所述同轴光源下方设有第一多角度光源。
4.根据权利要求2或3所述的高精度的双面缺陷在线检测装置,其特征在于,所述检测相机支架上端设有升降伺服电机,所述升降伺服电机下方设有升降板,所述升降伺服电机经滚珠丝杠连接所述升降板,所述第一线阵相机设置在所述升降板上。
5.根据权利要求4所述的高精度的双面缺陷在线检测装置,其特征在于,所述检测相机支架后端设有高度检测组件。
6.根据权利要求1所述的高精度的双面缺陷在线检测装置,其特征在于,所述下表面检测模组包括设置在所述机架模组下方的检测相机固定板,所述检测相机固定板上设有第二线阵相机,所述第二线阵相机上方设有第二同轴光源。
7.根据权利要求6所述的高精度的双面缺陷在线检测装置,其特征在于,所述第二同轴光源上方设有第二多角度光源。
8.根据权利要求1所述的高精度的双面缺陷在线检测装置,其特征在于,所述输送模组上设有负压吸附组件,用于对传输模组上的待测产品进行吸附固定。
9.根据权利要求1所述的高精度的双面缺陷在线检测装置,其特征在于,所述上表面检测模组和下表面检测模组前端设有相机检测触发组件。
10.根据权利要求2所述的高精度的双面缺陷在线检测装置,其特征在于,所述第一线阵相机设有多个。
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