[发明专利]一种光阻剥离液废液回收配液装置在审
| 申请号： | 201910130624.8 | 申请日： | 2019-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN109734634A | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 蒋新;吴鹏珍;田丹女 | 申请（专利权）人： | 苏州晶洲装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C07C315/06 | 分类号： | C07C315/06;C07C317/04;C07C213/10;C07C215/08 |
| 代理公司： | 苏州根号专利代理事务所(普通合伙) 32276 | 代理人： | 项丽 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸发器 光阻剥离液 剥离液 脱水塔 废液 废液回收 冷却机构 排出机构 配液装置 收集罐 冷却 二甲基亚砜 使用效率 树脂吸收 浓缩液 循环泵 乙醇胺 除水 水份 配制 承接 储存 配置 | ||
1.一种光阻剥离液废液回收配液装置，其特征在于，它包括：
剥离液收集罐（1），
蒸发器（3），所述蒸发器（3）通过第一循环泵（31）与所述剥离液收集罐（1）相连通；
废液排出机构（4），所述废液排出机构（4）与所述蒸发器（3）底部相连通以用于承接其内的浓缩液；
脱水塔（5），所述脱水塔（5）与所述蒸发器（3）顶部相连通，用于除去馏分中的水份；
冷却机构（6），所述冷却机构（6）与所述脱水塔（5）相连接，用于冷却馏分；
树脂吸收组件（7），所述树脂吸收组件（7）通过提升泵（73）与所述冷却机构（6）相连通，用于去除冷却液中的阴、阳离子；
成品配制组件（8），所述成品配制组件（8）包括与所述树脂吸收组件（7）相连通的混配罐（81）。
2.根据权利要求1所述的光阻剥离液废液回收配液装置，其特征在于：它还包括分别与所述剥离液收集罐（1）和所述蒸发器（3）相连通的油浴锅（2）。
3.根据权利要求1所述的光阻剥离液废液回收配液装置，其特征在于：所述冷却机构（6）包括与所述脱水塔（5）相连通的冷却器（61）、与所述冷却器（61）相连接并用于连接主风口的冷却泵（62）、与所述冷却器（61）相连通的冷却水管（63）、与所述冷却器（61）相连接的缓冲罐（64）以及与所述缓冲罐（64）相连接的储液罐（65）。
4.根据权利要求1所述的光阻剥离液废液回收配液装置，其特征在于：所述树脂吸收组件（7）包括与所述提升泵（73）相连通的阳离子交换树脂塔（72）以及与所述阳离子交换树脂塔（72）底部相连通的阴离子交换树脂塔（71），所述阴离子交换树脂塔（71）与所述混配罐（81）相连接。
5.根据权利要求1所述的光阻剥离液废液回收配液装置，其特征在于：所述成品配制组件（8）还包括与所述混配罐（81）相连通的第一原料罐（83）、连接第一原料罐（83）和所述混配罐（81）的第一提升泵（84）、与所述混配罐（81）相连通的第二原料罐（82）以及连接第二原料罐（82）和所述混配罐（81）的第二提升泵（85）。
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