[发明专利]真空装置

权利要求书

1.真空装置，其特征在于，包括：

工作腔室，用于加工零件，所述工作腔室连通有用于破除真空的排气阀；

初抽泵，所述初抽泵的吸气口与所述工作腔室连通；

辅助腔室，其与所述工作腔室连通，所述辅助腔室和所述工作腔室之间通过第一通道及第二通道连通，且所述初抽泵的吸气口设于所述第二通道上；

分子泵，所述分子泵的吸气口与所述辅助腔室连通；

第一气阀，设于所述第一通道上，用于控制所述第一通道的开闭；

第二气阀，设于所述初抽泵的吸气口和所述工作腔室之间的第二通道上，用于控制所述初抽泵的吸气口和所述工作腔室之间的通路；

第三气阀，设于所述初抽泵的吸气口和所述辅助腔室之间的第二通道上，用于控制所述辅助腔室和所述初抽泵的吸气口之间的通路；

通过控制系统开启初抽泵、分子泵以及第三气阀，排出辅助腔室内的空气；当辅助腔室内的真空度达到预设数值时，关闭第三气阀，开启第二气阀，排出工作腔室内的空气；当工作腔室内的真空度达到所述预设数值时，关闭第二气阀，开启第三气阀，开启第一气阀，同时排出工作腔室和辅助腔室内的空气使其真空度达到工作数值；加工工作腔室内的零件，且加工完毕后，关闭第一气阀及第二气阀，开启排气阀，破除工作腔室内的真空状态，更换零件并关闭排气阀。

2.如权利要求1所述的真空装置，其特征在于，还包括用于检测所述工作腔室的真空度的第一真空计，以及用于检测所述辅助腔室的真空度的第二真空计。

3.如权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述工作腔室用于加热零件，所述工作腔室外设有加热器以及温度传感器。

4.如权利要求3所述的真空装置，其特征在于，所述加热器环设于所述工作腔室的外周，所述加热器的外周设有防护罩，所述防护罩内设有冷却水管。

5.如权利要求4所述的真空装置，其特征在于，所述工作腔室具有开口，所述开口处设有用于密封所述开口的防护门，所述防护门内设有冷却水环，所述真空装置还包括冷水机，所述冷水机与所述冷却水管及所述冷却水环均连通。

6.如权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述第一气阀为插板阀。

7.如权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述排气阀为手动排气阀、气动排气阀或者两者的组合。