[发明专利]一种掩模对准传感器和光刻机

权利要求书

1.一种掩模对准传感器，其特征在于，包括：

标记板，包括标记板底壁和标记板侧壁，所述标记板底壁与所述标记板侧壁围成第一凹槽；

传感器和传感器板，位于所述第一凹槽内；所述传感器位于所述传感器板上，所述传感器位于所述传感器板与所述标记板底壁之间；

前放板，位于所述传感器板远离所述标记板底壁一侧；

屏蔽部件，所述屏蔽部件形成一腔室，所述传感器、传感器板以及所述前放板位于所述腔室内；

所述标记板底壁包括透明标记区，所述透明标记区正对所述传感器的感应面，所述屏蔽部件设置有开口结构，所述开口结构露出所述透明标记区。

2.根据权利要求1所述的掩模对准传感器，其特征在于，所述屏蔽部件包括屏蔽镀层和屏蔽盒；所述屏蔽盒与所述屏蔽镀层形成所述腔室；

所述屏蔽镀层位于所述第一凹槽的内壁和/或所述第一凹槽的外壁上；所述屏蔽镀层在所述透明标记区设置有所述开口结构；

所述屏蔽盒至少部分位于所述前放板远离所述标记板底壁的一侧。

3.根据权利要求1所述的掩模对准传感器，其特征在于，所述屏蔽部件包括屏蔽盒；所述屏蔽盒形成所述腔室；

所述屏蔽盒中位于所述标记板与所述传感器之间的部分在所述透明标记区设置有所述开口结构。

4.根据权利要求3所述的掩模对准传感器，其特征在于，所述屏蔽部件还包括屏蔽镀层，所述屏蔽镀层位于所述第一凹槽的内壁和/或所述第一凹槽的外壁上；所述屏蔽镀层在所述透明标记区设置有所述开口结构。

5.根据权利要求3所述的掩模对准传感器，其特征在于，所述掩模对准传感器还包括粘结层，所述粘结层位于所述第一凹槽内，且位于所述屏蔽盒与所述标记板之间，用于粘结固定所述屏蔽盒与所述标记板。

6.根据权利要求2或者3所述的掩模对准传感器，其特征在于，所述屏蔽盒包括金属材料。

7.根据权利要求1所述的掩模对准传感器，其特征在于，所述掩模对准传感器还包括柔性电路板和电流电压转换电路；

所述柔性电路板的一端与所述传感器板绑定电连接，所述柔性电路板的另一端与所述前放板绑定电连接；所述电流电压转换电路位于所述传感器板上。

8.根据权利要求7所述的掩模对准传感器，其特征在于，所述掩模对准传感器还包括差分输出电路，所述差分输出电路位于所述前放板上，并与所述电流电压转换电路电连接。

9.一种光刻机，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述的掩模对准传感器。