[发明专利]一种用于测量产品厚度的测量机构

权利要求书

1.一种用于测量产品厚度的测量机构，其特征在于：其包括固定支撑立柱，气浮轴承安装支撑架的一侧固接所述固定支撑立柱的安装立面，气浮轴承的外框固定架支承于所述气浮轴承安装支承架的上表面，所述气浮轴承还包括有外框、滑块，所述滑块位于所述外框的中心位置布置，所述滑块在所述外框的中心区域垂直向动作，所述外框的上部外周固接所述外框固定架，所述外框上固设有垂直向气缸，所述垂直向气缸的下部活塞杆固接所述滑块的上端面，所述滑块的上端面还设置有位移传感器，所述位移传感器用于精准测量滑块的位移距离，所述滑块的底端面固接有测量压板的上部连接部分，所述测量压板的压板面的正下方布置有治具板。

2.如权利要求1所述的一种用于测量产品厚度的测量机构，其特征在于：气浮轴承安装架的上设置有辅助安装板，所述辅助安装板上固装有配重滑轮支架，所述配重滑轮支架上设置有一组配重滑轮，连接绳的一端固接所述滑块的上部吊钩结构，所述连接绳的另一端经过所述配重滑轮后吊装有配重结构。

3.如权利要求1所述的一种用于测量产品厚度的测量机构，其特征在于：所述外框内布置有进气口、气流通道、喷气口，所述固定支撑立柱对应于所述进气口的端面位置处固设有调压阀，所述调压阀的入气口外接有过滤器，所述调压阀的出气口通过管路连接所述进气口。

4.如权利要求1所述的一种用于测量产品厚度的测量机构，其特征在于：所述气浮轴承安装支撑架和所述外框固定架通过三点支承结构固接，所述气浮轴承安装架的顶端面上设置有三个第一定位螺纹孔，每个定位螺纹孔的两侧分别设置有支承柱定位孔，所述外框固定架的对应关于所述第一定位螺纹孔的位置处设置有第二定位孔，所述外框固定架的对应于所述支承柱定位孔的位置处设置有导向孔，调节压块的底端面压装于所述外框固定架的对应上端面、并通过调节螺丝贯穿于所述第二定位孔后固接于第一定位螺纹孔，所述调节螺丝的上端面设置有内凹槽，支承柱的底部贯穿导向孔后螺纹连接所述支承柱定位孔，所述支承柱的顶部为大径止挡，所述大径止挡和所述导向孔的上内凹止挡槽面间设置有垂直向压缩弹簧，所述垂直向压缩弹簧用于调整气浮轴承安装支撑架、所述外框固定架的相对锁固高度位置，三点支承结构用于调整测量压块的压板面和治具板的上端面的平面度。

5.如权利要求1所述的一种用于测量产品厚度的测量机构，其特征在于：所述位移传感器包括固定测量端、移动杆，所述固定测量端位于移动杆的顶部、位置固定安装，所述移动杆的底部通过移动杆安装架固装于所述滑块的上端面，所述移动杆安装架确保移动杆的垂直安装，所述固定测量端检测移动杆顶部的垂直向位移量。

6.如权利要求3所述的一种用于测量产品厚度的测量机构，其特征在于：所述位移传感器的测量分辨率为1μm，所述测量压板的压板面的平面度加工精度为5μm，所述气浮轴承的内部气模厚度为8μm，所述气浮轴承的通气压力控制在0.3—0.4Mpa。

7.如权利要求5所述的一种用于测量产品厚度的测量机构，其特征在于：所述测量压板的压力重量重复性在±5g内。

8.如权利要求4所述的一种用于测量产品厚度的测量机构，其特征在于：所述测量压板与治具板的上端面调整后平行度为0.01mm。