[发明专利]弹性表面波装置

权利要求书

1.一种弹性表面波装置，其特征在于，包括：

晶体层；

非晶氧化硅层，层叠于所述晶体层上；

压电层，层叠于所述非晶氧化硅层上；以及

梳形电极，形成于所述压电层上，用于在所述压电层上激励弹性表面波；

其中，

当将所述弹性表面波的波长设为λ时，

0.1≤所述非晶氧化硅层的厚度/λ≤1，

0.08＜压电层的厚度/λ≤1。

2.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，

所述弹性表面波的频率为2GHz以上。

3.根据权利要求2所述的弹性表面波装置，其特征在于，

所述压电层的厚度/λ＜0.5。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的弹性表面波装置，其特征在于，

所述非晶氧化硅层的厚度/λ＜0.5。

5.根据权利要求1或2所述的弹性表面波装置，其特征在于，

当分别在曲线图的横轴上采用所述压电层的厚度/λ，在曲线图的纵轴上采用所述非晶氧化硅层的厚度/λ时，在将(压电层的厚度/λ，非晶氧化硅层的厚度/λ)＝(0.2，0.4)、(0.3，0.4)、(0.4，0.6)、(0.7，0.9)、(0.5，1.0)、(0.3，1.0)、(0.2，0.8)的各坐标利用直线加以连结而获得的七边形的区域内，分别包含所述压电层的厚度/λ、所述非晶氧化硅层的厚度/λ。

6.根据权利要求1或2所述的弹性表面波装置，其特征在于，

当分别在曲线图的横轴上采用所述压电层的厚度/λ，在曲线图的纵轴上采用所述非晶氧化硅层的厚度/λ时，在将(压电层的厚度/λ，非晶氧化硅层的厚度/λ)＝(0.1，0.1)、(0.4，0.1)、(0.3，0.5)、(0.2，0.5)、(0.1，0.4)的各坐标利用直线加以连结而获得的五边形的区域内，分别包含所述压电层的厚度/λ、所述非晶氧化硅层的厚度/λ。

7.根据权利要求1至3中的任一项所述的弹性表面波装置，其特征在于，

所述晶体层的切割面及弹性表面波的传输方向以欧拉角显示

为

θ为123.25°≤θ≤127.25°、或-56.75°≤θ≤-52.75°，且

ψ为-20°≤ψ≤20°、70°≤ψ≤110°、160°≤ψ≤200°、或250°≤ψ≤290°。

8.一种弹性表面波装置，其特征在于，包括：

晶体层；

非晶氧化硅层，层叠于所述晶体层上；

压电层，层叠于所述非晶氧化硅层上；以及

梳形电极，形成于所述压电层上，用于在所述压电层上激励2GHz以上的弹性表面波；

其中，

当将所述弹性表面波的波长设为λ时，

所述非晶氧化硅层的厚度/λ≤1。