[发明专利]有机发光器件及其制作方法有效
申请号: | 201910137260.6 | 申请日: | 2019-02-25 |
公开(公告)号: | CN109920927B | 公开(公告)日: | 2021-04-02 |
发明(设计)人: | 林碧芬 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L51/56 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 发光 器件 及其 制作方法 | ||
1.一种有机发光器件的制作方法,其特征在于,包括:
提供背板;
在所述背板上形成具有开口的像素定义层;
在所述像素定义层的所述开口内形成辅助阴极;
在所述像素定义层和所述辅助阴极上形成有机发光材料层;以及
在所述有机发光材料层上形成阴极;
其中所述阴极通过所述像素定义层的所述开口与所述辅助阴极接触及连接;
其中使用斜角蒸镀工艺蒸镀所述有机发光材料层,使得所述有机发光材料层没有形成在所述辅助阴极的阴影区内,所述辅助阴极为不连续的柱体,所述阴影区表示所述柱体之间的区域。
2.如权利要求1所述的有机发光器件的制作方法,其特征在于,还包括使用直角蒸镀工艺蒸镀所述阴极,使得所述阴极形成在所述辅助阴极的阴影区内且所述阴极在所述辅助阴极的所述阴影区内与所述辅助阴极接触及连接。
3.如权利要求1所述的有机发光器件的制作方法,其特征在于,所述辅助阴极为柱体且所述辅助阴极的材料包括金属。
4.如权利要求3所述的有机发光器件的制作方法,其特征在于,所述柱体为直角柱体或倒梯形柱体。
5.如权利要求4所述的有机发光器件的制作方法,其特征在于,还包括使用直角蒸镀工艺蒸镀所述倒梯形柱体。
6.如权利要求1所述的有机发光器件的制作方法,其特征在于,还包括在所述背板上形成像素电极层,所述像素定义层形成在所述像素电极层上。
7.如权利要求6所述的有机发光器件的制作方法,其特征在于,还包括在所述背板上形成平坦层,所述像素电极层形成在所述平坦层上。
8.一种有机发光器件,其特征在于:由上述权利要求1-7中任意一项所述的有机发光器件的制作方法制得。
9.一种有机发光器件,其特征在于,包括:
背板;
像素定义层,所述像素定义层具有开口且设置在所述背板上;
辅助阴极,设置在所述像素定义层的所述开口内;
有机发光材料层,设置在所述像素定义层和所述辅助阴极上;以及
阴极,设置在所述有机发光材料层上;
其中所述阴极通过所述像素定义层的所述开口与所述辅助阴极接触及连接,所述有机发光材料层没有形成在所述辅助阴极的阴影区内,所述辅助阴极为不连续的柱体,所述阴影区表示所述柱体之间的区域。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择