[发明专利]3D形貌测量误差的在线补偿测量装置及测量方法

权利要求书

1.一种3D形貌测量误差的在线补偿测量装置，其特征在于，包括基准垫片(1)、固定夹具(2)、产品测量传感器(3)和补差测量传感器(4)，所述基准垫片(1)水平设置在3D形貌测量仪的滑台(5)上，所述固定夹具(2)固定在基准垫片(1)上方，所述固定夹具(2)上侧放置待测产品，所述产品测量传感器(3)设置于固定夹具(2)上方，所述补差测量传感器(4)设置于3D形貌测量仪的滑台(5)下方。

2.根据权利要求1所述的3D形貌测量误差的在线补偿测量装置，其特征在于，所述产品测量传感器(3)和补差测量传感器(4)的中心线竖直且共线。

3.根据权利要求1所述的3D形貌测量误差的在线补偿测量装置，其特征在于，所述基准垫片(1)的厚度为700μm～1200μm。

4.根据权利要求3所述的3D形貌测量误差的在线补偿测量装置，其特征在于，所述基准垫片(1)的厚度为800μm。

5.根据权利要求1所述的3D形貌测量误差的在线补偿测量装置，其特征在于，所述固定夹具(2)包括底座(22)和支脚(21)，所述支脚(21)固定设置于底座(22)上方，支脚(21)以底座(22)竖直中心线为中心周向均匀设置有三个，三个支脚(21)顶端所在的平面与底座(22)下端面平行。

6.根据权利要求1所述的3D形貌测量误差的在线补偿测量装置，其特征在于，所述基准垫片(1)为圆形垫片，基准垫片(1)直径与待测晶圆产品直径相同。

7.一种3D形貌测量误差的在线补偿测量方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1.连接固定基准垫片(1)和固定夹具(2)，将固定基准垫片(1)和固定夹具(2)放置在滑台(5)上，将待测产品放置在固定夹具(2)上方；

S2.通过产品测量传感器(3)测量产品测量传感器(3)正下方的产品上表面高度值，通过补差测量传感器(4)测量补差测量传感器(4)正上方基准垫片(1)的下表面高度，记录测量点水平坐标；

S3.将产品测量传感器(3)测量的产品上表面高度值与补差测量传感器(4)测量的基准垫片(1)的下表面高度值求差得出产品上表面实际高度值；

S4.将产品上表面实际高度值与固定夹具(2)高度值、固定基准垫片(1)高度值求差获得产品实际厚度值；

S5.取测量点的水平坐标与产品实际厚度获得测量点空间直角坐标；

S6.使基准垫片(1)在滑台(5)上滑动，并重复步骤S1-S6获得产品多点的空间直角坐标，整合产品多点的空间直角坐标获得3D形貌。

8.根据权利要求7所述的3D形貌测量误差的在线补偿测量方法，其特征在于，步骤S2中所述产品上表面高度值和所述基准垫片(1)的下表面高度值均采用多次测量取平均值获得。