[发明专利]3Cr13马氏体不锈钢厨刀离子镀TiN层的制备工艺在审
| 申请号： | 201910140919.3 | 申请日： | 2019-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN109695019A | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 张覃轶;夏凯林 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学;阳江拓必拓工业技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 崔友明 |
| 地址： | 430070 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氮气 马氏体不锈钢 电弧离子镀设备 挡板 总开关 厨刀 惰性气体 预处理 氮化钛薄膜 离子镀工艺 表面制备 氮气气压 镀膜过程 镀膜阶段 清洗过程 硬质涂层 制备工艺 抽真空 氮化钛 离子镀 弧源 入炉 硬质 沉积 轰击 调配 | ||
【权利要求书】：
1.3Cr13马氏体不锈钢厨刀离子镀TiN层的制备工艺，包括如下步骤：
i)将经过预处理的3Cr13马氏体不锈钢厨刀样品入炉后抽真空达到2.0E-2Pa，偏压调至400V，开惰性气体，开电弧离子镀设备多弧总开关按序号由小到大顺序先后起靶，完成轰击清洗过程；
ii)调偏压40±10V，后五个弧源一起开启，设定基体温度280℃，40秒后加入氮气160格，关挡板，60秒后关惰性气体；调氮气气压至4.0E-1Pa，4分钟后关闭电弧离子镀设备多弧总开关，关氮气，3分钟后开挡板；第一阶段镀膜过程完成；
iii)调氮气至真空度4.0E-1Pa，开电弧离子镀设备多弧总开关，30秒后调氮气至5.0E-1Pa，关挡板，工作4分钟后关电弧离子镀设备多弧总开关，关氮气整个镀膜阶段去完成。
2.按权利要求1所述的3Cr13马氏体不锈钢厨刀离子镀TiN层的制备工艺，其特征在于所述的预处理是将待镀样品经过酸洗和超声波清洗去除杂质和锈蚀物，保证表面光洁度，并将样品放入烘烤箱170℃保温90分钟。
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