[发明专利]一种用于晶圆加工中的环保型底材在审
| 申请号： | 201910141988.6 | 申请日： | 2019-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN109760394A | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 夏枝巧;朱秀梅 | 申请（专利权）人： | 上海百卡新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B32B27/32 | 分类号： | B32B27/32;B32B27/08;B32B27/06;H01L21/304 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人： | 吴肖敏 |
| 地址： | 201400 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 中层 晶圆加工 聚丙烯 下层 聚乙烯 上层 三层共挤 共聚物 环保型 上表面 下表面 底材 贴合 产品设计 工艺制作 横向扩张 晶圆切割 生产条件 纵向横向 不均匀 柔软性 软化点 丝状物 塑胶丝 晶圆 流延 生产 污染 精密 延伸 制作 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于晶圆加工中的环保型底材，包括上层、中层和下层，所述上层的下表面与中层的上表面相贴合，中层的下表面与下层的上表面相贴合，其特征在于，上层、中层和下层采用三层共挤的工艺制作，上层、中层和下层均采用聚乙烯和聚丙烯的共聚物制作。
2.根据权利要求1所述的用于晶圆加工中的环保型底材，其特征在于，所述上层的高度为上层、中层和下层总高度的12-18％。
3.根据权利要求1或2所述的用于晶圆加工中的环保型底材，其特征在于，所述中层的高度为上层、中层和下层总高度的60-70％。
4.根据权利要求1所述的用于晶圆加工中的环保型底材，其特征在于，所述上层采用聚乙烯和聚丙烯的质量比为1:3.8-4.4的共聚物制作。
5.根据权利要求1所述的用于晶圆加工中的环保型底材，其特征在于，所述中层采用聚乙烯和聚丙烯的质量比为1:3.3-4.8的共聚物制作。
6.根据权利要求1或4所述的用于晶圆加工中的环保型底材，其特征在于，所述下层采用聚乙烯和聚丙烯的质量比为1:9-19的共聚物制作。
7.根据权利要求1所述的用于晶圆加工中的环保型底材，其特征在于，所述上层、中层和下层的总高度为0.06-0.45mm。
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