[发明专利]内外双循环流水线有效

专利信息
申请号: 201910142184.8 申请日: 2019-02-26
公开(公告)号: CN109763111B 公开(公告)日: 2021-03-23
发明(设计)人: 武文全 申请(专利权)人: 佛山市佛欣真空技术有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56
代理公司: 芜湖思诚知识产权代理有限公司 34138 代理人: 崔金
地址: 528200 广东省佛山市南*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 内外 双循环 流水线
【权利要求书】:

1.内外双循环流水线,包括底座(1)、底座(1)上端所设的转盘(2)、转盘(2)上端所设的真空固定盘(3),真空固定盘(3)前后两端所设的过渡室(7)与过渡室(7)两侧所设的支撑架(10),其特征在于:所述底座(1)的主体为环形槽体结构,且在底座(1)的上端设有环形槽体结构的旋转槽(101),所述旋转槽(101)的槽体内套配有环形板状结构的转盘(2),且在转盘(2)的上端均布设有圆柱形槽体结构的定位槽(201),所述转盘(2)的内侧设有环形结构的内齿圈(203),所述底座(1)内圆上的左右两侧对称设有两个板状结构的电机安装座(102),且在电机安装座(102)的下端固定安装有电机I(4),所述电机安装座(102)的上端并且在电机I(4)的主轴上套配有与内齿圈(203)相啮合的齿轮(5);

所述转盘(2)的上端设有圆盘形结构的真空固定盘(3),且在真空固定盘(3)下端面的中间位置处设有与底座(1)的槽底固定连接的支撑柱(305),所述真空固定盘(3)下端面的外延处设有与转盘(2)相套配的环形槽体结构的真空镀膜腔(301),且在真空镀膜腔(301)的上端固定安装有镀膜头(304),所述镀膜头(304)的侧面并且在真空镀膜腔(301)的槽底向真空镀膜腔(301)的上端面引有圆柱形孔状结构的真空吸孔(303),所述真空固定盘(3)上端面的中间位置处固定安装有真空泵(6),且真空泵(6)与真空吸孔(303)通过管道相连通,所述真空固定盘(3)的前后两端并且在真空固定盘(3)的上端面上设有与真空镀膜腔(301)相连通的腔体结构的过渡室(7),所述过渡室(7)的左右两侧均对称设有C形框架结构的支撑架(10),且在支撑架(10)的两侧板之间固定安装有皮带输送机构(11),所述皮带输送机构(11)由皮带输送机构(11)两侧面之间固定安装的卷筒、皮带与皮带输送机构(11)的侧面所固定安装的电机II(12)构成;

所述过渡室(7)的内侧设有与真空镀膜腔(301)相连通的槽体结构的皮带引导槽(701),且在皮带引导槽(701)的上下两端面嵌配有与皮带输送机构(11)上的皮带相贴合的板状结构的弹性密封垫I(703),所述过渡室(7)的外侧并设有与真空镀膜腔(301)相连通的槽体结构的工件引导槽(702),且在工件引导槽(702)的上端面上嵌配有与皮带输送机构(11)上的皮带相贴合的板状结构的弹性密封垫II(704)。

2.根据权利要求1所述的内外双循环流水线,其特征在于:所述转盘(2)的下端设有环形凸台结构的旋转支撑座(202),且在旋转支撑座(202)与旋转槽(101)之间套配有轴承。

3.根据权利要求1所述的内外双循环流水线,其特征在于:所述真空镀膜腔(301)的下端并且在转盘(2)的侧面位置处设有环形槽体结构的密封槽,且在密封槽内嵌配有环形结构的密封环(302)。

4.根据权利要求1所述的内外双循环流水线,其特征在于:所述过渡室(7)的外侧均布设有两个与工件引导槽(702)相连通的箱体结构的封闭室(8),且在封闭室(8)的端面上均固定安装有封闭气缸(9),所述封闭室(8)的内侧且在工件引导槽(702)的槽体内设有两个与封闭气缸(9)的活塞杆固定相连的工字型结构的密封板(705)。

5.根据权利要求1所述的内外双循环流水线,其特征在于:所述皮带输送机构(11)上的皮带的外侧面上均布设有槽体结构的电磁吸盘(13),且电磁吸盘(13)与皮带输送机构(11)上的皮带通过螺栓固定连接。

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