[发明专利]平板探测器及制作方法在审
申请号: | 201910142582.X | 申请日: | 2019-02-26 |
公开(公告)号: | CN109727968A | 公开(公告)日: | 2019-05-07 |
发明(设计)人: | 侯学成;林家强;车春城 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L25/16 | 分类号: | H01L25/16;H01L31/115;H01L21/60 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 彭久云 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 平板探测器 第二基板 第一基板 感光元件 驱动电路 像素单元 光电二极管 光电特性 相对设置 有效预防 静电 电连接 填充率 对盒 感光 划伤 良率 制作 驱动 | ||
1.一种平板探测器,包括第一基板和第二基板;其中,
所述第一基板包括驱动电路,
所述第二基板包括感光元件,
所述第一基板与所述第二基板相对设置以对盒,所述驱动电路与所述感光元件电连接,以对所述感光元件进行驱动。
2.根据权利要求1所述的平板探测器,还包括导电胶,其中,所述导电胶设置在所述第一基板和所述第二基板之间以将二者对盒粘合。
3.根据权利要求1或2所述的平板探测器,其中,所述驱动电路和所述感光元件在所述第一基板和所述第二基板彼此正对的方向上至少部分重叠。
4.根据权利要求1或2所述的平板探测器,其中,所述第一基板还包括遮光层,
其中,所述遮光层覆盖在所述驱动电路的正上方,从而相对于所述驱动电路更接近所述第二基板。
5.根据权利要求1或2所述的平板探测器,其中,所述第一基板还包括导电连接部,
所述导电连接部与所述驱动电路电连接,设置在所述第一基板的表面且与所述感光元件电连接。
6.根据权利要求5所述的平板探测器,其中,所述导电连接部包括金属电极、导电胶或导电隔垫物。
7.根据权利要求5所述的平板探测器,其中,所述第一基板还包括第一钝化层,
所述第一钝化层设置在所述导电连接部和所述驱动电路之间,
所述第一钝化层包括开口区域,
所述导电连接部设置在所述开口区域之中。
8.根据权利要求7所述的平板探测器,其中,所述第一钝化层为平坦化层,以使得所述第一基板具有基本平坦的表面。
9.根据权利要求1或2所述的平板探测器,其中,所述第二基板还包括衬底和形成在所述衬底上的透明电极层,
所述感光元件设置在所述透明电极层远离所述衬底的一侧上且与之电连接。
10.根据权利要求1或2所述的平板探测器,其中,所述第一基板包括第一衬底,所述第二基板包括第二衬底,所述第一衬底和所述第二衬底为玻璃或塑料。
11.根据权利要求1或2所述的平板探测器,其中,所述感光元件包括光电二极管,
所述光电二极管为PIN型光电二极管。
12.根据权利要求11所述的平板探测器,其中,所述PIN型光电二极管的P型层、I型层和N型层在所述第二基板与所述第一基板相对的方向上依次层叠设置。
13.根据权利要求1所述的平板探测器,还包括扫描电路,其中,所述扫描电路与所述驱动电路连接,且配置为提供扫描信号以控制所述驱动电路。
14.根据权利要求1所述的平板探测器,还包括电压读取电路,其中,所述电压读取电路与所述驱动电路连接,且配置为通过所述驱动电路读取所述感光元件产生的电压信号。
15.一种平板探测器的制作方法,包括:
形成包括驱动电路的第一基板;
形成包括感光元件的第二基板;
将所述第一基板和所述第二基板相对设置以对盒,使得所述驱动电路和所述感光元件电连接。
16.根据权利要求15所述的制作方法,还包括:
在所述第一基板和所述第二基板之间设置导电胶以将二者对盒粘合。
17.根据权利要求15所述的制作方法,还包括:
在所述驱动电路的正上方覆盖遮光层,且在将所述第一基板和所述第二基板相对设置以对盒后,使得所述遮光层相对于所述驱动电路更接近所述第二基板。
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