[发明专利]振动传感器

权利要求书

1.一种振动传感器，其包括：

﹣压力产生元件，所述压力产生元件用于响应于所述振动传感器的振动而产生第一容积体和第二容积体之间的压力差，所述第一容积体和所述第二容积体彼此声学密封，以及

﹣压力换能器，所述压力换能器用于测量所述第一容积体和所述第二容积体之间的压力差。

2.根据权利要求1所述的振动传感器，其中，所述压力产生元件适于直接与所述第一容积体和所述第二容积体的空气相互作用。

3.根据权利要求1或2所述的振动传感器，其中，所述压力产生元件相对于所述第一容积体和所述第二容积体相邻地布置。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的振动传感器，其中，所述压力产生元件和所述压力换能器形成将所述第一容积体与所述第二容积体声学密封的设备的一部分，或者所述压力产生元件和所述压力换能器被固定到所述设备。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的振动传感器，其中，所述压力产生元件包括可动元件，并且所述振动传感器还包括静止元件，所述静止元件经由一个或多个弹性互连部而可操作地连接到所述可动元件。

6.根据权利要求5所述的振动传感器，其中，所述静止元件、所述可动元件以及所述一个或多个弹性互连部以组合方式形成单件式部件，并且在所述静止元件和所述可动元件之间设置一个或多个开口。

7.根据权利要求6所述的振动传感器，其中，所述静止元件、所述可动元件以及所述一个或多个弹性互连部由印刷电路板形成，所述印刷电路板具有布置在其上的一个或多个导电路径。

8.根据权利要求5所述的振动传感器，其中，所述静止元件、所述可动元件以及所述一个或多个弹性互连部构成不同材料制成的分立部件，并且在所述静止元件和所述可动元件之间设置一个或多个开口。

9.根据权利要求5至8中任一项所述的振动传感器，其中，在所述静止元件和所述可动元件之间的所述一个或多个开口中布置粘弹性物质，以便在所述静止元件和所述可动元件之间形成声学密封。

10.根据权利要求5至9中任一项所述的振动传感器，其中，所述压力换能器被固定到所述可动元件。

11.根据权利要求10所述的振动传感器，其中，用于处理来自所述压力换能器的信号的信号处理电路被固定到所述可动元件。

12.根据权利要求10所述的振动传感器，其中，用于处理来自所述压力换能器的信号的信号处理电路被固定到所述静止元件。

13.根据权利要求5至9中任一项所述的振动传感器，其中，所述压力换能器被固定到所述静止元件。

14.根据权利要求13所述的振动传感器，其中，用于处理来自所述压力换能器的信号的信号处理电路被固定到所述可动元件。

15.根据权利要求13所述的振动传感器，其中，用于处理来自所述压力换能器的信号的信号处理电路被固定到所述静止元件。

16.根据权利要求11、12、14或15中任一项所述的振动传感器，其中，所述压力换能器和所述信号处理电路彼此相邻地布置。

17.根据前述权利要求中任一项所述的振动传感器，其中，所述压力换能器包括MEMS压力换能器。

18.一种包括根据前述权利要求中任一项所述的振动传感器的个人装置，所述个人装置选自助听器、听力装置、听穿戴装置、移动通信装置和平板电脑构成的组。

19.一种用于检测振动的方法，所述方法包括以下步骤：

﹣在彼此声学密封的第一容积体和第二容积体之间产生压力差；和

﹣使用压力换能器测量所述第一容积体和所述第二容积体之间的压力差。