[发明专利]一种可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置

权利要求书

1.一种可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置，其特征在于，包括固定在扫描电镜观察台面的机座，所述机座上开设有开槽，开槽的后侧机座上设有固定板，所述固定板上固定有伺服电机，在伺服电机的转子上固定有主动同步带轮；所述开槽的两侧设有托臂；在托臂上设有轴孔，在托臂上通过转轴安装有活动臂；所述活动臂上开设有U型槽，在转轴上且位于活动臂U型槽内固定有从动同步带轮；在转轴的一侧通过联轴器连接有转角检测传感器；所述活动臂的前端面固定有楔形探头，在探头的上表面固定有样品台，在样品台的两侧固定有样品夹；所述主动同步带轮与从动同步带轮通过同步带连接。

2.根据权利要求1所述的可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置，其特征在于：所述转轴为阶梯转轴。

3.根据权利要求1所述的可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置，其特征在于：所述探头通过销轴可拆卸的与活动臂固定连接，探头与活动臂对接面设为凸面，在凸起上设有销孔，所述活动臂与探头对接上设为凹面，在探头上设有销孔，且两者销孔的位置一致，探头安插在活动臂的凹面内，并由销轴固定。

4.根据权利要求1所述的可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置，其特征在于：以SEM电子束相垂直平面为0°面，可以使任意SEM的电子束与探头平面夹角在-30°至150°或-15°至165°或-5°至175°或0°至180°中任意一夹角范围内。

5.根据权利要求1所述的可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置，其特征在于：所述转轴通过轴承与拖臂固定，且轴承为滚珠轴承。

6.根据权利要求1所述的可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置，其特征在于：所述活动臂与转轴通过键槽配合的形式安装。

7.根据权利要求1所述的可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置，其特征在于：所述主动同步带轮与伺服电机通过键槽配合的形式安装。

8.根据权利要求1所述的可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置，其特征在于：所述伺服电机与固定板之间设有一层橡胶垫。