[发明专利]检查系统

说明书

本发明提供一种基板内的器件用的检查系统。一实施方式的检查系统具有检查模块、对准模块、支承机构以及固定机构。检查模块具有多个测试器，提供多个检查室。多个测试器分别能够收容于多个检查室。对准模块具有对准器。对准器设置于对准空间内。对准器相对于多个测试器中的收容到对准空间内的测试器调整基板的位置。支承机构从下方支承收容到对准空间内的测试器。固定机构构成为，与支承机构协作来固定被收容到对准空间内的测试器。

技术领域

本公开的实施方式涉及一种检查系统。

背景技术

对于电子器件，在其制造工艺中在形成于基板内之后，会对其电特性进行检查。为了检查形成于基板内的电子器件的电特性，使用检查系统。一般而言，检查系统具备载物台、对准器以及测试器。测试器具有探针卡和测试头。测试头构成为，借助探针卡向电子器件赋予信号，进行电子器件的电特性的检查。探针卡具有多个触针。多个触针构成为，与电子器件的电极接触。载物台构成为，支承被载置到该载物台之上的基板。对准器构成为，为了相对于测试器对基板的位置进行调整，使载物台移动且旋转。

在下述的专利文献1中记载有具备多个测试器的检查系统。在该检查系统中，为了高效地检查在许多基板内分别形成的电子器件，使用多个测试器。多个测试器沿着高度方向和与该高度方向正交的方向排列。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-179379号公报

发明内容

发明要解决的问题

检查系统所配置的空间的大小存在限制。因而，需要抑制检查系统的占用空间。为了抑制具备多个测试器的检查系统的占用空间，考虑到：不使用与测试器的个数相同数量的对准器，在通用的对准空间内，使用单一对准器而进行测试器和基板的位置调整。因此，要求被收容到对准空间内的测试器的位置不相对于对准器变动。

用于解决问题的方案

在一技术方案中，提供一种检查系统。检查系统具有检查模块、对准模块、支承机构以及固定机构。检查模块具有多个测试器，提供多个检查室。多个测试器分别包括探针卡和测试头。多个测试器分别能够收容于多个检查室。对准模块具有对准器。对准器设置于对准空间内。对准空间能够与多个检查室连接。对准器构成为，相对于多个测试器中的收容到对准空间内的测试器调整要检查的基板的位置。支承机构构成为，从下方支承收容到对准空间内的测试器。固定机构构成为，使收容到对准空间内的测试器相对于对准器定位并与支承机构协作来固定该测试器。

在一技术方案的检查系统中，在对准空间内利用支承机构从下方支承从对应的检查室输送到对准空间的测试器。并且，在对准空间内利用固定机构和支承机构固定测试器相对于对准器的位置。因而，在该检查系统中，多个测试器中的收容到对准空间内的测试器相对于对准器的位置不变动。

在一实施方式中，在多个测试器分别设置有向上开口的第1孔和第2孔。固定机构具有第1销、第2销以及升降机构。第1销和第2销能够分别插入第1孔和第2孔，以便使收容到对准空间内的测试器相对于对准器定位。升降机构构成为，使第1销和第2销升降。根据该实施方式，能够以简易的结构固定收容到对准空间内的测试器的位置。

在一实施方式中，第1孔和第2孔在彼此之间具有预定的距离。第1孔和第2孔排列的方向相对于多个测试器分别在多个检查室中的对应的检查室与对准空间之间输送的输送方向呈预定的角度倾斜。即、在该实施方式中，在多个测试器分别形成第1孔和第2孔，该第1孔和该第2孔的排列方向相对于输送方向呈相同的角度且该第1孔和该第2孔彼此之间具有相同的间隔。因而，根据该实施方式，能够使用第1销和第2销将全部的测试器同样地固定在对准空间内。